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布鲁克Bruker InSight AFP 半导体计量仪

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简介:布鲁克Bruker InSight AFP 半导体计量仪是世界上最高的性能和腐蚀深度计量系统先进技术节点。系统结合了原子力显微镜的最新创新,包括力量的专有PeakForce技术、原子力分析器的证明长扫描功能。取代昂贵的晶片浆纱切片,洞察AF...

  • 产品介绍
布鲁克Bruker InSight AFP 半导体计量仪是世界上最高的性能和腐蚀深度计量系统先进技术节点。系统结合了原子力显微镜的最新创新,包括力量的专有PeakForce®技术、原子力分析器的证明长扫描功能。取代昂贵的晶片浆纱切片,洞察AFP监测腐蚀深度、碟形,在亚微米和侵蚀特性与无与伦比的可重复性。以其激进的增加速度和准确性、力量的第五代法新社提供业界最高的分辨率,最快的分析,快速三维映射死去,亚微米生产和平滑的配置文件。
布鲁克Bruker InSight AFP 半导体计量仪测量非破坏性和不敏感材料,使分析到10nm节点控制CMP过程。提供最高thorughput可用,系统可以监控每小时15晶片(5网站),1垂直分辨率。布鲁克Bruker InSight AFP 半导体计量仪系统提供3d的热点信息,使优化布置热管的热性能更好,更高的电效率,降低整体成本。布鲁克Bruker InSight AFP 半导体计量仪比其他同类仪器提供1-2mm/秒的分析速度,布鲁克Bruker InSight AFP 半导体计量仪拥有<2小时die-map能力。
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