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布鲁克Bruker JVSensus 半导体计量仪

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简介:布鲁克Bruker JVSensus 半导体计量仪是最新的计量系统仪器。布鲁克Bruker JVSensus 半导体计量仪有助于发现问题过程中遇到晶圆生产使用最新的x射线衍射成像(XRDI)技术。布鲁克Bruker JVSensus 半导体...

  • 产品介绍
布鲁克Bruker JVSensus 半导体计量仪是最新的计量系统仪器。布鲁克Bruker JVSensus 半导体计量仪有助于发现问题过程中遇到晶圆生产使用最新的x射线衍射成像(XRDI)技术。布鲁克Bruker JVSensus 半导体计量仪应用包括监测边缘损伤,超快速检测防止昂贵的晶片破损。布鲁克Bruker JVSensus 半导体计量仪监控流程工具的任何技术节点,这样可以减少周期时间和促进工厂扩张。布鲁克Bruker JVSensus 半导体计量仪容易识别晶体缺陷,一旦缺陷被观察到,非破坏性截面查看图片可以执行定位晶片内的缺陷位置深度。测量可以执行在毯子、图案和金属化晶片没有样品制备。缺陷可以被识别,即使模式是在晶片上。机器人装载可以添加从2到300毫米大小的晶片,GaN Si或锭幻灯片,布鲁克Bruker JVSensus 半导体计量仪可以在几分钟内检测滑。
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