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布鲁克Bruker InSight CAP 半导体计量仪

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简介:布鲁克Bruker InSight CAP 半导体计量仪是紧凑的原子分析器,是专门设计为一个综合平台CMP和腐蚀测量半导体制造商和供应商。布鲁克Bruker InSight CAP 半导体计量仪系统功能300毫米自动处理和证明宝石工厂自动化...

  • 产品介绍
布鲁克Bruker InSight CAP 半导体计量仪是紧凑的原子分析器,是专门为一个综合平台CMP设计测量腐蚀半导体。布鲁克Bruker InSight CAP 半导体计量仪系统拥有300毫米自动处理功能和证明宝石工厂自动化软件。布鲁克Bruker InSight CAP 半导体计量仪提供行业领先的最高精度和分辨率CMP和腐蚀、非破坏性测量,不需要模型在几分钟内在线计量结果,适合技术开发、占用空间小且灵活的配置,拥有最佳成本。
布鲁克Bruker InSight CAP 半导体计量仪具有优越的计量能力,在先进技术节点,多重图像光刻技术利用纳米CMP过程控制要求,满足depthof——重点需求。布鲁克Bruker InSight CAP 半导体计量仪是建立在最新一代AFM扫描提供改善平面度,小于10纳米,在65μm X / Y扫描范围。系统的毫微秒示波器®V 64位AFM控制器提供5 x更快的接触性能和快5倍调优对于提高生产率,与增强的可靠性。其DT自适应扫描模式也会导致更快的扫描和改进计量。高级功能的组合,布鲁克Bruker InSight CAP 半导体计量仪分辨率分析器允许angstrom-level精密测量在宏观碟形和侵蚀。
布鲁克Bruker InSight CAP 半导体计量仪又最具价值的平台,灵活的配置支持wafersizes从100毫米到300毫米使精密测量范围广泛的应用程序结束。从高产的实验室全自动晶圆厂的洞察力帽分析器可以优化配置最具成本效益的计量解决方案。
如果您需要布鲁克Bruker InSight CAP 半导体计量仪及布鲁克品牌仪器、或者其他品牌仪器,均可联络我司销售部门:0731-84284278 84284378。

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