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SE800 UV/VIS光谱椭偏仪

名称:物性分析测试仪器

品牌:

型号:

简介:SE800 UV/VIS光谱椭偏仪主要用于玻璃上透明薄膜,发光材料和半导体有机物,吸收和透明衬底上多层膜,玻璃上防反射膜,微电子应用:SOI/高K/低K.各项异性材料测量。 光谱范围:350 nm - 850 nm 可选: 280 nm -...

  • 产品介绍

SE800 UV/VIS光谱椭偏仪 主要用于玻璃上透明薄膜,发光材料和半导体有机物,吸收和透明衬底上多层膜,玻璃上防反射膜,微电子应用:SOI/高K/低K.各项异性材料测量。
 SE800
光谱范围:350 nm - 850 nm
可选: 280 nm - 850 nm

  SE 800是采用快速二极管阵列探测器的高性能光谱椭偏仪,在紫外/可见光范围内兼具快速数据采集速度和全光谱范围分辨率。

  光谱椭偏仪SE 800适用于复杂应用,比如测量玻璃上的透明薄膜,发光体和半导体聚合物薄膜,吸收/透明基底上的多层膜,窗材料的减反射膜,先进的微电子应用比如SOI,高k值和低k值材料。各向异性样品和非均匀样品也能够被分析。

光谱椭偏仪 SE 800 特征
  ·步进扫描分析器工作方式,对较低光强也同样有效
  ·消色差补偿器在整个0-360度范围内都可极准确和精确地测量出椭偏角度。能够分析偏振因数和补偿退偏效应
  ·起偏器跟踪技术可以为每一种应用都提供最高的测量精度
  ·自动对准镜用于样品倾斜度调节,显微镜用于样品高度调节,能够提供最高的样品对准精度
  ·高稳定性的操作,所有硬件操作由其内置的微控制器分别控制,基于Windows XP系统的最新型电脑
  ·SpectraRay II – 功能强大的光谱椭偏仪软件

主要应用
  ·测量单层膜或多层膜的厚度和折射率
  ·在紫外-可见光波段测量材料的光学性质
  ·测量厚度梯度
  ·测量膜表面和界面间的粗糙程度
  ·确定材料成分
  ·分析薄金属膜
  ·分析各向异性材料和薄膜
  ·CER – 结合椭偏测量和反射测量
  ·CET – 结合椭偏测量和透射测量

选项
  ·紫外扩展选项 280 - 850 nm
  ·计算机控制角度计,40º-90º, 可选 20º-90º ,精度0.01º
  ·手动x-y载物台,150 mm行程
  ·电机驱动x-y载物台,行程50 mm - 200 mm
  ·MWAFER- SENTECH地貌图扫描软件
  ·透射测量样品夹具
  ·摄象头选项,用于样品对准和表面检测
  ·液体膜测量单元
  ·反射式膜厚仪FTPadvanced, 光斑直径80微米
  ·微细光斑选项,光斑直径200微米,可选: 100微米
  ·自动对焦选项,结合地貌图扫描选项
  ·SENTECH标准样片
  ·附加许可,使SpectrRay II软件可以用于多台电脑
光谱椭偏仪软件SpectraRay II

SE800SE800


  基于windows系统的 SpectraRay II 操作软件包括一个全面的的建模、模拟和拟合软件包,操作向导,自动输出结果,单键操作,使得软件界面友好并且椭偏仪操作简易。
  通过运行操作向导,能够使操作变的简单。操作向导能够指导用户完成标准的测量程序:测量数据,拟合,输出结果。操作向导能够将复杂的测量和拟合的设置变的简易。
  SpectraRay II 软件也能够进行反射测量和透射测量。

SE800SE800

  报告向导能够自动完成将测量结果输出到一个web文件。 

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