SE800 UV/VIS光谱椭偏仪
名称：物性分析测试仪器
品牌：
型号：
简介：SE800 UV/VIS光谱椭偏仪主要用于玻璃上透明薄膜,发光材料和半导体有机物,吸收和透明衬底上多层膜,玻璃上防反射膜，微电子应用：SOI/高K/低K.各项异性材料测量。 光谱范围：350 nm - 850 nm 可选: 280 nm -...
申请服务
- 产品介绍
SE800 UV/VIS光谱椭偏仪 主要用于玻璃上透明薄膜,发光材料和半导体有机物,吸收和透明衬底上多层膜,玻璃上防反射膜，微电子应用：SOI/高K/低K.各项异性材料测量。
光谱范围：350 nm - 850 nm
可选: 280 nm - 850 nm
SE 800是采用快速二极管阵列探测器的高性能光谱椭偏仪，在紫外/可见光范围内兼具快速数据采集速度和全光谱范围分辨率。
光谱椭偏仪SE 800适用于复杂应用，比如测量玻璃上的透明薄膜，发光体和半导体聚合物薄膜，吸收/透明基底上的多层膜，窗材料的减反射膜，先进的微电子应用比如SOI，高k值和低k值材料。各向异性样品和非均匀样品也能够被分析。
光谱椭偏仪 SE 800 特征
·步进扫描分析器工作方式，对较低光强也同样有效
·消色差补偿器在整个0-360度范围内都可极准确和精确地测量出椭偏角度。能够分析偏振因数和补偿退偏效应
·起偏器跟踪技术可以为每一种应用都提供最高的测量精度
·自动对准镜用于样品倾斜度调节，显微镜用于样品高度调节，能够提供最高的样品对准精度
·高稳定性的操作，所有硬件操作由其内置的微控制器分别控制，基于Windows XP系统的最新型电脑
·SpectraRay II – 功能强大的光谱椭偏仪软件
主要应用
·测量单层膜或多层膜的厚度和折射率
·在紫外-可见光波段测量材料的光学性质
·测量厚度梯度
·测量膜表面和界面间的粗糙程度
·确定材料成分
·分析薄金属膜
·分析各向异性材料和薄膜
·CER – 结合椭偏测量和反射测量
·CET – 结合椭偏测量和透射测量
选项
·紫外扩展选项 280 - 850 nm
·计算机控制角度计，40º-90º, 可选 20º-90º ，精度0.01º
·手动x-y载物台，150 mm行程
·电机驱动x-y载物台，行程50 mm - 200 mm
·MWAFER- SENTECH地貌图扫描软件
·透射测量样品夹具
·摄象头选项，用于样品对准和表面检测
·液体膜测量单元
·反射式膜厚仪FTPadvanced, 光斑直径80微米
·微细光斑选项，光斑直径200微米，可选: 100微米
·自动对焦选项，结合地貌图扫描选项
·SENTECH标准样片
·附加许可，使SpectrRay II软件可以用于多台电脑
光谱椭偏仪软件SpectraRay II
基于windows系统的 SpectraRay II 操作软件包括一个全面的的建模、模拟和拟合软件包，操作向导，自动输出结果，单键操作，使得软件界面友好并且椭偏仪操作简易。
通过运行操作向导，能够使操作变的简单。操作向导能够指导用户完成标准的测量程序：测量数据，拟合，输出结果。操作向导能够将复杂的测量和拟合的设置变的简易。
SpectraRay II 软件也能够进行反射测量和透射测量。
报告向导能够自动完成将测量结果输出到一个web文件。
最新产品
相关产品
