最新开发设计的分光系统,不需移动衍射光栅或检测器(CCD)就能同时获取不同能量的谱图。而且由于能量分辨率很高,还可以采集状态分析分佈图。各种分光方法中氮化钛样品的谱图。即使在WDS分析中氮化钛的谱峰也發生重叠,需要采取去卷积的数学方法处理。如下图所示,SXES具有很高的能量分辨率。
捷欧路JEOL 软X射线分析谱仪产品规格:
能量分辨率0.3eV(Al-L 光谱图73eV处测试)
获取能量范围:衍射光栅JS50XL的能区50-170eV
获取能量范围:衍射光栅JS50XL的能区70-210eV
分光谱仪艙安装位置:
EPMA的WDS接口:NO.2接口(正面右侧)
FE-SEM的WDS接口(正面左后侧)
分光谱仪尺寸 W 168mm×D 348mm ×H 683mm
* 从接口包括CCD的距离
分光谱仪重量 25kg
适用机型
EPMA : JXA-8530F, JXA-8230, JXA-8500F, JXA-8200
SEM : JSM-7800F, JSM-7800 Prime, JSM-7100F