捷欧路JEOL JIB-4700F 双束加工观察系统
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简介:捷欧路JEOL JIB-4700F 双束加工观察系统能进行高分辨观察、高速分析、高速加工的FIB/SEM 装置。随着先进材料构造的微细化和制造过程的复杂化,形貌观察、元素分析和晶体分析等的评估技术也对分辨率和精度有了更高的要求。为了满足这些...
SEM | |
加速电压 | 0.1 ~ 30.0 kV |
分辨率 (最佳WD时) |
1.2 nm (15 kV, GB模式) 1.6 nm (1 kV, GB模式) |
倍率 | x20 ~ 1,000,000 (采用LDF模式) |
探针电流 | 1 pA ~ 300 nA |
样品台 |
计算机控制6轴测角样品台 X: 50 mm, Y: 50mm, Z: 1.5 ~ 40 mm, R: 360°, T: -5 ~ 70°, FZ: -3.0 ~ +3.0 mm |
FIB | |
加速电压 | 1 ~ 30 kV |
图像分辨率 | 4.0 nm (30kV) |
倍率 | x50 ~ 1,000,000 (x50 ~ 90在加速电压为15kV以下时可以) |
探针电流 | 1 pA ~ 90 nA, 13 档 |
加工形状 | 矩形、线、点、圆、位图 |
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