捷欧路JEOL JIB-4000 聚焦离子束加工观察系统
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简介：捷欧路JEOL JIB-4000 聚焦离子束加工观察系统配置了高性能的离子镜筒(单束FIB装置)。被加速了的镓离子束经聚焦照射样品后，就能对样品表面进行SIM观察 、研磨，沉积碳和钨等材料。还可以为TEM成像制备薄膜样品，为观察样品内部制备...
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- 产品介绍
捷欧路JEOL JIB-4000 聚焦离子束加工观察系统配置了高性能的离子镜筒(单束FIB装置)。被加速了的镓离子束经聚焦照射样品后，就能对样品表面进行SIM观察 、研磨，沉积碳和钨等材料。还可以为TEM成像制备薄膜样品，为观察样品内部制备截面样品。通过与SEM像比较，SIM像能清楚地显示出归因于晶体取向不同的电子通道衬度差异，这些都非常适合于评估多层镀膜的截面及金属结构。
捷欧路JEOL JIB-4000 聚焦离子束加工观察系统采用高性能的FIB镜筒，最大离子束流高达 60 nA，能进行快速研磨。大电流下的快速加工尤其适合于大面积的研磨，制备100 μｍ以上用来观察的截面非常轻松。捷欧路JEOL JIB-4000 聚焦离子束加工观察系统高性能的 FIB镜筒具有出色的可操作性。用户友好的外观和GUI设计，建立了使用方便的FIB系统。即使不是FIB专家也能够轻松操作，此外，该装置小巧紧凑为业界最小体积，安装地点的选择范围很大。捷欧路JEOL JIB-4000 聚焦离子束加工观察系统标配的块状样品马达驱动样品台可供块状样品使用，此外还可以增配侧插式测角台（TEM用Tip-on 样品架可以直接插入）。块状样品马达驱动样品台能观察整个表面为20 mm x 20 mm的块状样品，样品交换可以通过气锁式系统快速进行。侧插式测角台与JEOL的TEM系统使用的相同，因此Tip-on （尖端上可以安装附件的）样品架与JEOL的TEM系统可以通用，这样，FIB加工和TEM观察的反复交替就能很容易地进行。有各种附件可用来支持JIB-4000的操作。包括对电路修改应用特别有效的CAD导航系统，对特殊形状加工有效的矢量扫描系统等。通过给JIB-4000安装适当的附件，该系统可以支持样品制备以外的应用。
| 离子源 | Ga （镓）液态金属离子源 |
| 加速电压 | 1～30ｋV（5 kV/步） |
| 放大倍率 |
×60 （用于视场搜索） ×200～×300,000 |
| 图像分辨率 | 5 nm (30 kV) |
| 最大束流 | 60 nA (at 30 kV) |
| 可变光阑 | 12 档(马达驱动) |
| 离子束加工形状 | 矩形、线状、点状 |
| 样品台 |
块状样品用 5 轴测角样品台 X:±11 mm Y:±15 mm Z:0.5 ～ －23 mm T:－5 ～ ＋60° R:360°无限 样品最大尺寸: 28 ｍｍφ（高度13 ｍｍ）、50 ｍｍφ（高度2 ｍｍ） |
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