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Tektronix泰克 4200A-SCS参数分析仪

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简介:Tektronix泰克 4200A-SCS 参数分析仪 亲眼见证创新! 4200A-SCS 是一种可以量身定制、全面集成 的参数分析仪,可以同步查看电流电压(I-V)、电容电压(C-V) 和超快速脉冲式I-V 特性。作为性能最高的参数分析仪...

  • 产品介绍
Tektronix泰克 4200A-SCS 参数分析仪是一种可以量身定制、全面集成 的参数分析仪,可以同步查看电流电压(I-V)、电容电压(C-V) 和超快速脉冲式I-V 特性。作为性能最高的参数分析仪, 4200A-SCS 加快了半导体、材料和工艺开发速度。

4200A-SCS ClariusTM 基于GUI 的软件提供了清楚的、不折不 扣的测量和分析功能。凭借嵌入式测量专业知识和数百项随时 可以投入使用的应用测试,Clarius Software 可以更深入地挖掘 研究过程,快速而又满怀信心。

4200A-SCS 参数分析仪可以根据不同用户需求进行灵活配 置,不管是现在还是未来,都可以随时对系统进行升级。通过 4200A-SCS 参数分析仪,通往发现之路现在变得异常简便。
 

主要性能指标
I-V 源测量单元(SMU)
  • ± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模块
  • 100 fA测量分辨率
  • 选配前端放大器提供了 10 aA测量分辨率
  • 10 mHz - 10 Hz 超低频率电容测量
  • 100 μF负载电容
  • 四象限操作
  • 2 线或 4 线连接

C-V 多频率电容单元(CVU)
  • AC 阻抗测量 (C-V, C-f, C-t)
  • 1 kHz - 10 MHz 频率范围
  • ± 30 V (60 V差分)内置DC偏置源,可以扩展到± 210 V(420 V 差分)
  • 选配 CVIV 多通道开关,在 I-V 测量和 C-V 测量之间简便切换脉冲式I-V 超快速脉冲测量单元(PMU)
  • 两个独立的或同步的高速脉冲 I-V 源和测量通道
  • 200 MSa/s,5 ns 采样率
  • ±40 V (80 V p-p),±800 mA
  • 瞬态波形捕获模式
  • 任意波形发生器 Segment ARB? 模式,支持多电平脉冲波形,10 ns 可编程分辨率

高压脉冲发生器单元(PGU)
  • 两个高速脉冲电压源通道
  • ±40 V (80 V p-p),± 800 mA
  • 任意波形发生器 Segment ARB?模式,支持多电平脉冲波形,10 ns 可编程分辨率I-V/C-V 多通道开关模块 (CVIV)
  • 在 I-V测量和 C-V 测量之间简便切换,无需重新布线或抬起探针
  • 把 C-V测量移动到任意端子,无需重新布线或抬起探针远程前端放大器/ 开关模块(RPM)
  • 在 I-V 测量、C-V 测量和超快速脉冲 I-V 测量之间自动切换
  • 把 4225-PMU的电流灵敏度扩展到数十皮安
  • 降低电缆电容效应

型号 描述
4200A-SCS-PKA
高分辨率 IV 套件
4200A-SCS:参数分析仪主机
4201-SMU:两个用于高容量设置的中功率 SMU
4200-PA:一个预放大器
8101-PIV:一个带有采样装置的测试夹具
4200A-SCS-PKB
高分辨率 IV 和 CV 套件
4200A-SCS:参数分析仪主机
4201-SMU:两个用于高容量设置的中功率 SMU
4200-PA:一个预放大器
4215-CVU:一个高分辨率多频 C-V 单元
8101-PIV:一个带有采样装置的测试夹具
4200A-SCS-PKC
高功率 IV 和 CV 套件
4200A-SCS:参数分析仪主机
4201-SMU:两个用于高容量设置的中功率 SMU
4211-SMU:两个用于高容量设置的高功率 SMU
4200-PA:两个预放大器
4215-CVU:一个高分辨率多频 C-V 单元
8101-PIV:一个带有采样装置的测试夹具
4200-BTI-A
超快 NBTI/PBTI 套件
用于使用尖端硅 CMOS 技术进行的复杂 NBTI 和 PBTI 测量 4200-BTI-A 套件包括:
  • 1 个 4225-PMU 超快 I-V 模块
  • 2 个 4225-RPM 远程预放大器/开关模块
  • 自动化检定套件 (ACS) 软件
  • 超快 BTI 测试项目模块
  • 布线
  •  

为材料、半导体器件和工艺开发提供最优秀的参数分析仪

使用强大的Clarius 软件,可以更加快速的完成I-V, C-V 和脉冲I-V 测试,结果清晰明了

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