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Keithley吉时利 半导体参数分析仪4200A-SCS

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简介:使用吉时利4200A-SCS参数分析仪(参数测试仪) 加快各类材料、半导体器件和先进工艺的开发,完成制程控制、可靠性分析和故障分析。 4200A-SCS是业内性能领先电学特性半导体参数分析仪,提供同步电流电压曲线测试(IV曲线测试)、电容电...

  • 产品介绍
使用吉时利4200A-SCS参数分析仪(参数测试仪) 加快各类材料、半导体器件和先进工艺的开发,完成制程控制、可靠性分析和故障分析。 4200A-SCS是业内性能领先电学特性半导体参数分析仪,提供同步电流电压曲线测试(IV曲线测试)、电容电压曲线测试(CV曲线测试)和超快脉冲IV曲线测量。


直流电流-电压(I-V) 范围

10 aA - 1A
0.2 µV - 210 V
 

电容-电压(C-V) 范围

1 kHz - 10 MHz
± 30V 直流偏置
 

脉冲 I-V范围

±40 V (80 V p-p),±800 mA
200 MSa/s,5 ns 采样率

 

Keithley吉时利 半导体参数分析仪4200A-SCS主要性能指标

I-V 源测量单元(SMU)

  • ± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模块
  • 100 fA测量分辨率
  • 选配前端放大器提供了 10 aA测量分辨率
  • 10 mHz - 10 Hz 超低频率电容测量
  • 100 μF负载电容
  • 四象限操作
  • 2 线或 4 线连接


C-V 多频率电容单元(CVU)

  • AC 阻抗测量 (C-V, C-f, C-t)
  • 1 kHz - 10 MHz 频率范围
  • ± 30 V (60 V差分)内置DC偏置源,可以扩展到± 210 V(420 V 差分)
  • 选配 CVIV 多通道开关,在 I-V 测量和 C-V 测量之间简便切换脉冲式I-V 超快速脉冲测量单元(PMU)
  • 两个独立的或同步的高速脉冲 I-V 源和测量通道
  • 200 MSa/s,5 ns 采样率
  • ±40 V (80 V p-p),±800 mA
  • 瞬态波形捕获模式
  • 任意波形发生器 Segment ARB® 模式,支持多电平脉冲波形,10 ns 可编程分辨率


高压脉冲发生器单元(PGU)

  • 两个高速脉冲电压源通道
  • ±40 V (80 V p-p),± 800 mA
  • 任意波形发生器 Segment ARB®模式,支持多电平脉冲波形,10 ns 可编程分辨率I-V/C-V 多通道开关模块 (CVIV)
  • 在 I-V测量和 C-V 测量之间简便切换,无需重新布线或抬起探针
  • 把 C-V测量移动到任意端子,无需重新布线或抬起探针远程前端放大器/ 开关模块(RPM)
  • 在 I-V 测量、C-V 测量和超快速脉冲 I-V 测量之间自动切换
  • 把 4225-PMU的电流灵敏度扩展到数十皮安
  • 降低电缆电容效应




 

参数查看,快速清晰。

4200A-SCS 参数分析仪从设置到运行检定测试的时间减少高达 50%,从而实现无与伦比的测量和分析能力。此外,嵌入式测量专业知识提供无与伦比的测试指导,并让您对最终结果充满信息。

特点

  • 用于 DC IV、CV 和脉冲 IV 测量类型的高级测量硬件
  • 立即使用 Clarius 软件中所含的数百种用户可修改应用程序测试开始测试
  • 自动实时参数提取、数据绘图、分析函数

准确的 C-V 表征

使用吉时利最新的电容-电压单元 (CVU) 4215-CVU 测量一位数飞法。通过将 1 V AC 电源集成到吉时利行业领先的 CVU 架构中,4215-CVU 可在 1 kHz 至 10 MHz 的频率下进行低噪声电容测量。

特点

  • 同类产品中首款能够驱动1 V AC 电源电压的 CV 表
  • 1 kHz 频率,分辨率从1 kHz 到 10 MHz
  • 测量电容、电导和导纳
  • 使用 4200A-CVIV 多路开关最多可测量四个通道

 

测量、 切换、 重复。

4200A-CVIV 多通道切换模块自动在 I-V 和 C-V 测量之间切换,无需重新布线或抬起探头端部。 与竞争产品不同,四通道 4200A-CVIV 显示器提供本地可视查看,可快速完成测试设置,并在出现意想不到的结果时轻松排除故障。

特点

  • 无需重新布线即可将 C-V 测量移动到任何设备终端
  • 用户可配置低电流功能
  • 个性化输出通道名称
  • 查看实时测试状态

稳定的低电流测量,适用于 I-V 检定

使用 4201-SMU 和 4211-SMU 模块,您可以在高电容系统中实现稳定的低电流测量。4200A-SCS 有四种型号的源测量单位 (SMU) 可供选择,可通过定制满足您所有的 I-V 测量需求。通过提供现场可安装单元和可选的预放大器模块,Keithley 可确保您获得最准确的低电流测量,而停机时间很少甚至没有。

特点

  • 不必将仪器送回工厂即可增加 SMU
  • 进行 飞安测量
  • 多达 9 个 SMU 通道
  • 针对长电缆或大卡盘进行了优化

带分析探测器和低温控制器的集成解决方案

4200A-SCS 参数分析仪支持许多手动和半自动晶片探测器和低温控制器,包括 MPI Cascade MicroTech、Lucas Labs/Signatone、MicroManipulator、Wentworth Laboratories、LakeShore Model 336 低温控制器。

特点

  • “点击”测试定序
  • “手动”探测器模式测试探测器功能
  • 假探测器模式无需移除命令即可实现调试


 

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