Keithley吉时利 半导体参数分析仪4200A-SCS
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简介：使用吉时利4200A-SCS参数分析仪（参数测试仪） 加快各类材料、半导体器件和先进工艺的开发，完成制程控制、可靠性分析和故障分析。 4200A-SCS是业内性能领先电学特性半导体参数分析仪，提供同步电流电压曲线测试（IV曲线测试）、电容电...
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- 产品介绍
10 aA - 1A
0.2 µV - 210 V
1 kHz - 10 MHz
± 30V 直流偏置
±40 V (80 V p-p)，±800 mA
200 MSa/s，5 ns 采样率
Keithley吉时利 半导体参数分析仪4200A-SCS主要性能指标
I-V 源测量单元(SMU)
- ± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模块
- 100 fA测量分辨率
- 选配前端放大器提供了 10 aA测量分辨率
- 10 mHz - 10 Hz 超低频率电容测量
- 100 μF负载电容
- 四象限操作
- 2 线或 4 线连接
C-V 多频率电容单元(CVU)
- AC 阻抗测量 (C-V, C-f, C-t)
- 1 kHz - 10 MHz 频率范围
- ± 30 V (60 V差分)内置DC偏置源，可以扩展到± 210 V(420 V 差分)
- 选配 CVIV 多通道开关，在 I-V 测量和 C-V 测量之间简便切换脉冲式I-V 超快速脉冲测量单元(PMU)
- 两个独立的或同步的高速脉冲 I-V 源和测量通道
- 200 MSa/s，5 ns 采样率
- ±40 V (80 V p-p)，±800 mA
- 瞬态波形捕获模式
- 任意波形发生器 Segment ARB® 模式，支持多电平脉冲波形，10 ns 可编程分辨率
高压脉冲发生器单元(PGU)
- 两个高速脉冲电压源通道
- ±40 V (80 V p-p)，± 800 mA
- 任意波形发生器 Segment ARB®模式，支持多电平脉冲波形，10 ns 可编程分辨率I-V/C-V 多通道开关模块 (CVIV)
- 在 I-V测量和 C-V 测量之间简便切换，无需重新布线或抬起探针
- 把 C-V测量移动到任意端子，无需重新布线或抬起探针远程前端放大器/ 开关模块(RPM)
- 在 I-V 测量、C-V 测量和超快速脉冲 I-V 测量之间自动切换
- 把 4225-PMU的电流灵敏度扩展到数十皮安
- 降低电缆电容效应
参数查看，快速清晰。
4200A-SCS 参数分析仪从设置到运行检定测试的时间减少高达 50％，从而实现无与伦比的测量和分析能力。此外，嵌入式测量专业知识提供无与伦比的测试指导，并让您对最终结果充满信息。
特点
- 用于 DC IV、CV 和脉冲 IV 测量类型的高级测量硬件
- 立即使用 Clarius 软件中所含的数百种用户可修改应用程序测试开始测试
- 自动实时参数提取、数据绘图、分析函数
准确的 C-V 表征
使用吉时利最新的电容-电压单元 (CVU) 4215-CVU 测量一位数飞法。通过将 1 V AC 电源集成到吉时利行业领先的 CVU 架构中，4215-CVU 可在 1 kHz 至 10 MHz 的频率下进行低噪声电容测量。
特点
- 同类产品中首款能够驱动1 V AC 电源电压的 CV 表
- 1 kHz 频率，分辨率从1 kHz 到 10 MHz
- 测量电容、电导和导纳
- 使用 4200A-CVIV 多路开关最多可测量四个通道
测量、 切换、 重复。
4200A-CVIV 多通道切换模块自动在 I-V 和 C-V 测量之间切换，无需重新布线或抬起探头端部。 与竞争产品不同，四通道 4200A-CVIV 显示器提供本地可视查看，可快速完成测试设置，并在出现意想不到的结果时轻松排除故障。
特点
- 无需重新布线即可将 C-V 测量移动到任何设备终端
- 用户可配置低电流功能
- 个性化输出通道名称
- 查看实时测试状态
稳定的低电流测量，适用于 I-V 检定
使用 4201-SMU 和 4211-SMU 模块，您可以在高电容系统中实现稳定的低电流测量。4200A-SCS 有四种型号的源测量单位 (SMU) 可供选择，可通过定制满足您所有的 I-V 测量需求。通过提供现场可安装单元和可选的预放大器模块，Keithley 可确保您获得最准确的低电流测量，而停机时间很少甚至没有。
特点
- 不必将仪器送回工厂即可增加 SMU
- 进行 飞安测量
- 多达 9 个 SMU 通道
- 针对长电缆或大卡盘进行了优化
带分析探测器和低温控制器的集成解决方案
4200A-SCS 参数分析仪支持许多手动和半自动晶片探测器和低温控制器，包括 MPI Cascade MicroTech、Lucas Labs/Signatone、MicroManipulator、Wentworth Laboratories、LakeShore Model 336 低温控制器。
特点
- “点击”测试定序
- “手动”探测器模式测试探测器功能
- 假探测器模式无需移除命令即可实现调试
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