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SE850 UV/VIS/NIR光谱型椭偏仪

名称:物性分析测试仪器

品牌:

型号:

简介:简单信息: SE850UV/VIS/NIR光谱型椭偏仪可测量大尺寸材料、单层与多层膜、界面、超薄膜与厚膜的厚度与光学参数。SE850DUV特别适用于高要求的研发应用,例如测量玻璃上的薄透明膜、有机发光体、多层半导体材料复合膜、窗玻璃上的低e...

  • 产品介绍

简单信息: SE850UV/VIS/NIR光谱型椭偏仪可测量大尺寸材料、单层与多层膜、界面、超薄膜与厚膜的厚度与光学参数。SE850DUV特别适用于高要求的研发应用,例如测量玻璃上的薄透明膜、有机发光体、多层半导体材料复合膜、窗玻璃上的低e镀层、最新微电子应用如SOI、高k和低k材料,也能分析各向异性和非均匀性样品。选件.
SE850
 
光谱范围: 350 nm - 1700 nm

  SE 850是SENTECH公司的紫外-可见光-近红外光谱椭偏仪,是基于紫外-可见光波段快速二极管阵列探测器和近红外波段快速干涉调制探测的高性能光谱椭偏仪,能够快速获得数据并在全波段解析。应用FT-IR光谱仪不但能够提高测量速度、分辨率和信噪比,还能够提供自动波长校准。

主要应用
  ·测量单层膜或多层膜的厚度和折射率
  ·在紫外-可见光-近红外波段测量材料的光学性质
  ·测量厚度梯度
  ·测量膜表面和界面间的粗糙程度
  ·确定材料成分
  ·分析较厚的膜,厚度范围可到30微米
  ·适合测量In搀杂的半导体材料 (InP, InGaAs, InGaAlAs, InN)
选项
  ·紫外光谱扩展选项,280 - 850 nm
  ·近红外光谱扩展选项,1700 - 2300 nm
  ·计算机控制高性能消色差补偿器
  ·计算机控制起偏器
  ·计算机控制自动角度计, 40º-90º, 精度0.01º
  ·手动x-y载物台,150 mm行程
  ·电机驱动x-y载物台,行程50 mm - 200 mm, SENTECH地貌图扫描软件
  ·透射测量样品夹具
  ·摄象头选项,用于样品对准和表面检测
  ·液体膜测量单元
  ·反射式膜厚仪FTPadvanced, 光斑直径80微米
  ·微细光斑选项
  ·自动对焦选项,结合地貌图扫描选项
  ·SENTECH标准样片
  ·附加许可,使SpectrRay II软件可以用于多台电脑

光谱椭偏仪软件SpectraRay II
  基于windows系统的 SpectraRay II 操作软件包括一个全面的的建模、模拟和拟合软件包,操作向导,自动输出结果,单键操作,使得软件界面友好并且椭偏仪操作简易。
  通过运行操作向导,能够使操作变的简单。操作向导能够指导用户完成标准的测量程序:测量数据,拟合,输出结果。操作向导能够将复杂的测量和拟合的设置变的简易。
  SpectraRay II 软件也能够进行反射测量和透射测量。
  报告向导能够自动完成将测量结果输出到一个web文件。
 

商品名称: UV/VIS/NIR光谱型椭偏仪
商品型号: SE850
 

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