SE401 在线式激光椭偏仪
名称：涂镀层测厚仪
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型号：
简介：SE401 在线式激光椭偏仪简单信息： 在线式激光椭偏仪，可以在线测量薄膜厚度。 ,SE 401是出色的单波长椭偏仪， 使用旋转分析器，对测量椭偏角度有高重复性和长期稳定性，快速测量数据，基于windows操作系统的软件使测量精确、快速、简...
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- 产品介绍
SE401 在线式激光椭偏仪简单信息： 在线式激光椭偏仪，可以在线测量薄膜厚度。 ,SE 401是出色的单波长椭偏仪， 使用旋转分析器，对测量椭偏角度有高重复性和长期稳定性，快速测量数据，基于windows操作系统的软件使测量精确、快速、简单。SE 401过程控制椭偏仪适用于监控动态过程，如不同环境下单层膜的生长或蚀刻过程。
SE401 在线式激光椭偏仪规格
·激光波长 632.8 nm
·测量时间最小80 ms（测量Ψ,Δ数据）。
·接口配置，用于将椭偏仪安装在反应腔上。
·激光聚焦高度调节
·应力释放窗口
·基于windows系统的操作分析软件，在线监控椭偏测量并计算单层膜的膜厚、折射率。
选项
·高真空应力释放窗口
·使椭偏仪正面向上的附加置换单元
·双波长激光 (可选405 nm或1550 nm)
·角度计可调节入射角，步进值5度。载物台直径150mm
·TIMECALC 软件，动态椭偏测量模拟和分析软件。
厂商名称： SENTHCH
商品名称： 在线式激光椭偏仪
商品型号： SE401
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