捷欧路JEOL JXA-8530F Plus 场发射电子探针显微分析仪是最新研发的第三代场发射电子探针JXA-8530F Plus,电子光学系统有了很大的改进,新的软件能提供更高的通量,并保持着极高的稳定性,能实现更广泛的EPMA应用。
捷欧路JEOL JXA-8530F Plus 场发射电子探针显微分析仪采用浸没式肖特基场发射电子枪,优化了角电流密度,能利用2 μA以上的大探针电流进行分析,还提高了分析条件下的二次电子像的分辨率。新开发了多种基于Windows操作系统的软件,其中包括:能使痕量元素分析更加简便的“痕量元素分析程序”、能自动制作相图的“相图制作器”以及只需简单输入就能对表面凹凸不平样品进行测试的“不平坦样品的分析程序”等。X射线波谱仪可以选择140 R或100 R罗兰圆, 罗兰圆半径为140 mm的XCE/L型X射线谱仪检测范围宽,波长分辨率高和P/ B比优异,100 mm的H型X射线谱仪具有X射线衍射强度高的特点,可以根据需要选择使用。
JXA-8530F Plus 场发射电子探针显微分析仪标配了JEOL制造的30平方毫米 SD检测器(以下简称SD检测器),凭借高计数率的SD检测器,在与WDS相同的分析条件下可以进行EDS分析,通过简单的操作就能采集EDS谱图。