捷欧路JEOL IB-09060CIS 低温冷冻离子切片仪
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简介:捷欧路JEOL IB-09060CIS 低温冷冻离子切片仪带有样品冷却系统,对容易受热损伤的样品也可以进行截面制备的离子切片仪。通过液氮制冷,减轻了离子照射时对样品造成的热损伤。可以用于制备TEM的薄膜样品和SEM的截面样品*冷却保持时间长...
IB-09060CIS | ||
离子加速电压 | 1 ~ 8kV | |
倾斜角 | 最大±6º(0.1º/步) | |
离子束直径 | 500μm(FWHM) | |
研磨速率 | 5μm/min(加速电压:8kV、Si换算) | |
使用气体 | 氩气 | |
最大样品尺寸 | 2.8mm(长度)×1.0 mm(宽度)×0.1mm(厚度) | |
样品冷却 | 样品架冷却温度 | -120℃ |
冷却到达时间 | 1小时 | |
冷却保持时间 | 8小时 | |
样品取出时间 | 30分钟 | |
压力测试 | 潘宁规 | |
主抽真空系统 | 涡轮分子泵 | |
CCD相机 | 内置 | |
尺寸 重量 | 主机 | 500mm(W)×600mm(D)×542mm(H)、70kg |
机械泵 | 150mm(W)×427mm(D)×230.5mm(H)、16kg | |
液晶显示器 | 326mm(W)×173mm(D)×380mm(H)、3.7kg |
IB-09060CIS | |
电源 | 单相100 ~ 120V±10%、50/60Hz、0.5 ~ 0.6kVA |
接地线 | 独立地线(100Ω以下) |
氩气 |
使用压力: 0.15±0.05MPa(1.0 ~ 2.0kg/cm²) 纯度99.9999%以上(氩气、气瓶及调压器由客户自备) 金属配管连接口:JISB0203 RC1/8 |
室温 | 20 ~ 25℃ |
湿度 | 60% 以下 |
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