布鲁克Bruker JVX7300HR 半导体计量仪包含了专利FastHRXRD FastXRR,监控性能优越。布鲁克Bruker JVX7300HR 半导体计量仪是广泛应用于工业监控的仪器。通过使用HRXRD和XRR频道、组合、放松、应变和单个和多个层的厚度epi电影可以提取,甚至针对fd-soi和强迫症垫。
测量和分析能力方面的最新进展允许如果应变测量的决心强迫症垫。平行线的强迫症垫有一系列长度等于test-pad大小与Si CD和锗硅印刷是印刷在S / D的大小。这种形式代表结构相关的设备测量通道的压力。FastXRR可以用来衡量个人堆栈中的每个超薄层厚度和密度。这可以用于high-K /金属门的过程,用一个测量覆盖每一层。
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