布鲁克Bruker InSight-450 3DAFM 原子力显微镜
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简介：布鲁克Bruker InSight-450 3DAFM 原子力显微镜满足原子水平分辨率为450毫米计量的需要。基于布鲁克Bruker InSight-450 3DAFM 原子力显微镜300毫米的测量范围,布鲁克Bruker InSight-...
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布鲁克Bruker InSight-450 3DAFM 原子力显微镜满足原子水平分辨率为450毫米计量的需要。基于布鲁克Bruker InSight-450 3DAFM 原子力显微镜300毫米的测量范围,布鲁克Bruker InSight-450 3DAFM 原子力显微镜适合广泛的粗糙度,深度和CD的应用程序。功能包括裸晶片工艺验证、粗糙度表征和坑/凹凸/划痕缺陷计量;传入的衬底资格;薄膜和外延沉积性能和微/纳米粗糙度angstrom-level阶梯高度精度;腐蚀深度的计量过程开发和控制,内联抵制剖面测量CD,SWA,l。完整的TEM-like概要;和CMP平坦性能监控碟形和侵蚀。布鲁克Bruker InSight-450 3DAFM 原子力显微镜的灵活性意味着所有这些应用程序都可以在一个单一的工具,从而减少总体成本计量。布鲁克Bruker InSight-450 3DAFM 原子力显微镜提供这个功能不需要建模,NIST可跟踪性和任何材料和晶片损坏,使其成为理想的工具提供早期学习与可伸缩性过程开发生产。
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