布鲁克Bruker Dimension Edge PSS 原子力显微镜配备AutoMET测量分析软件,专为高精度的蓝宝石图形化衬底表征设计的原子力显微镜,搭配AutoMET™测试分析软件的Bruker Dimension Edge™ PSS 原子力显微镜具有超高性价比,是专为LED检测设计的用于生产和研发的原子力显微镜。作为Dimension Edge AFM的延伸,现在推出的布鲁克Bruker Dimension Edge PSS 原子力显微镜。
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布鲁克Bruker Dimension Edge PSS 原子力显微镜利用AFM的超高分辨率提供衬底和外延层表面粗糙度的精确测量,配备齐全的AutoMET测试分析软件,自动测试每一个样品细节,并且高效迅速地完成数据分析获得完整的蓝宝石图形化衬底的信息,大大提升布鲁克Bruker Dimension Edge PSS 原子力显微镜的性价比,提供前所未有的自动化测量分析功能。利用AFM的超高分辨率提供衬底和外延层表面粗糙度的精确测量,配备齐全的AutoMET测试分析软件,自动测试每一个样品细节,并且高效迅速地完成数据分析获得完整的PSS信息:高度、侧壁角度、表面轮廓、直径(底部尺寸)、间距。Dimension Edge PSS AFM配备自动检测成像软件,提供无与伦比的高精度测量数据,满足技术要求,噪声水平<0.2nm,提供衬底和外延层表面粗糙度的精确测量;样品台可容纳2-到6-英寸的wafer,可以灵活选择样品尺寸进行测量;AutoMET自动测量分析软件可以同时测量9片2-英寸的wafer。
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