Agilent B1500A 半导体器件分析仪
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简介：Agilent B1500A 半导体器件分析仪是一款具有 10 插槽配置的模块化仪器，可支持 IV 和 CV 测量及快速高电压脉冲测量。它采用常见的 Microsoft Windows 用户界面，可支持 Agilent EasyEXPERT...
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- 产品介绍
Agilent B1500A 半导体器件分析仪是一款具有 10 插槽配置的模块化仪器，可支持 IV 和 CV 测量及快速高电压脉冲测量。它采用常见的 Microsoft ® Windows ® 用户界面，可支持 Agilent EasyEXPERT 软件。该软件为器件表征提供更直观的、面向任务的新方法。Agilent B1500A 具有极佳的低电流、低电压和集成电容测量能力，因此可满足广泛的半导体器件表征需求（IC-CAP 支持 B1500A）。它还是一款用于非易失存储单元表征和高速器件表征（包括先进 NBTI 和 RTS 噪声（RTN）测量）的出色解决方案。
Agilent B1500A主要特性与技术指标 一般特性
•基于 PC 的仪器，具有 Windows ® XP Professional 操作系统
•针对电流－电压（IV）、电容－电压（CV）、脉冲生成、快速 IV和时域测量的综合解决方案。
•用于电源监测单元（SMU）和其他模块类型（MFCMU、HV-SPGU 和 WGFMU）的 10 个模块插槽
•通过 Desktop EasyEXPERT 软件进行离线数据分析和应用测试开发
测量能力
•支持 0.1fA 和 0.5µV 电流－电压（IV）测量
•支持准静态和中频电容－电压（CV）测量
•支持精确的快速 IV 和时域测量，适用于各种应用，例如脉冲 IV、NBTI 和 RTS 噪声（RTN）测量。
•支持用于大功率和存储器测试的高电压脉冲生成（高达 ±40 V）功能。
B1500A 目前具有 7 种模块。请参见本页底部的模块选型表。
应用主题
现已提供有关太阳能电池表征的新应用指南和示例程序。请访问 “用于太阳能电池测试的精密 SMU 产品”页面。
模块信息
•B1500A 支持 3 类 SMU 和 ASU，以执行超精密测量。有关 SMU 的更多信息，请参见本页的模块选型指南。
•B1525A（HV-SPGU：高电压――半导体脉冲发生器单元）模块可提高闪存测试的吞吐量。 B1525A 演示网页提供在线演示视频。
•B1530A（WGFMU：波形发生器和快速测量单元）模块可帮助您执行以前无法进行的关键脉冲测量。更多信息，请访问 B1530A 产品页面。
相关链接
•B1500A 提供各种脉冲解决方案。最新的安捷伦选型指南可帮助您选择最适合您应用的解决方案。更多信息，请访问 安捷伦脉冲 IV 参数测试解决方案页面。 安捷伦脉冲 IV 参数测试解决方案页面。
•EasyEXPERT 和 Desktop EasyEXPERT 不但可以帮助您提高测量效率，而且还可提供易于使用的测试环境。更多信息，请访问 EasyEXPERT 页面。 EasyEXPERT 页面。
•安捷伦低泄漏开关矩阵系列能够灵活地生成自动化测量解决方案，而不会影响测量性能。更多信息，请访问 开关矩阵系列页面。 开关矩阵系列页面。
特性和优势
•优异的 IV 测量性能：0.1 fA / 0.5 µV 测量分辨率
- 测量特性包括单通道和多通道扫描、时间采样、列表扫描、准静态 CV（使用 SMU）、直接控制和针对 HV-SPGU 的任意线性波形生成（ALWG）GUI。
•可选的集成电容模块支持高达 5 MHz 的 CV 测量
•基于定位器的可选 CV-IV 开关解决方案提供 0.5 µV 的电压测量分辨率和 10 fA、1 fA 或 0.1 fA 的电流测量分辨率能力
•使用内置半自动晶圆探头驱动程序可轻松自动完成测试；在快速测试模式下，用户无需编程即可排列测试顺序
•可选的高电压半导体脉冲发生器单元（HV-SPGU）具有 10 ns 的可编程脉冲宽度和 +/- 40 V（80 V 峰峰值）输出
•可选的波形发生器/快速测量单元（WGFMU）提供 ALWG 和快速电流或电压测量能力
•10 ns 脉冲 IV 解决方案，用于表征高 k 栅极电介质和 SOI（绝缘硅）晶体管
•典型测试模式可提供 4155/4156 界面的外观、风格和术语，同时通过充分利用 Microsoft ® Windows ® GUI 特性可加强用户交互
模块选型指南
模块 所需插槽数 主要技术指标
B1510A HPSMU 2 高达 200 V、1 A，10 fA 电流分辨率
B1511A MPSMU 1 高达 100 V、100 mA，10 fA 电流分辨率
B1517A HRSMU 1 高达 100 V、100 mA，1 fA 电流分辨率
E5288A ASU 无 高达 100 V、100 mA，100 aA 当前分辨率
B1520A MFCMU 1 1 kHz 至 5 MHz，高达 100 V 直流偏置，具有 SMU
B1525A HV-SPGU 1 最小 12.5 ns 脉冲宽度，10 ns 跳变时间、高达 40 V 和 3 级脉冲
B1530A WGFMU 1 最小 100 ns 脉冲宽度、10 V 峰峰值输出、5 ns 电流或大于测量采样速率
