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牛津仪器 Ionfab 300 IBE离子束刻蚀

名称:其他仪器与工具

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简介:牛津仪器 Ionfab 300 IBE离子束刻蚀的灵活性、均匀性俱佳且应用范围广。z6尊龙凯时的设备具有灵活的硬件选项,包括直开式、单衬底传送模式和盒式对盒式模式。系统配置与实际应用紧密协调,以确保获得速率更快且重复性更好的工艺结果。 多模式功能 ...

  • 产品介绍

牛津仪器 Ionfab 300 IBE离子束刻蚀的灵活性、均匀性俱佳且应用范围广。z6尊龙凯时的设备具有灵活的硬件选项,包括直开式、单衬底传送模式和盒式对盒式模式。系统配置与实际应用紧密协调,以确保获得速率更快且重复性更好的工艺结果。

  • 多模式功能

  • 能够与其它等离子体刻蚀和沉积设备相集成

  • 单晶圆传送模式或集群式晶圆操作

  • 双束流配置

  • 更低的表面薄膜粗糙度

  • 更佳的批次均匀性和工艺重复性

  • 准确终点监测 —— SIMS,发射光谱


牛津仪器 Ionfab 300 IBE离子束刻蚀特点

  • 质量薄膜高 ——超低污染
  • 产量高,紧凑的系统体积设计­ ——运行成本低
  • 已获得专利的高速衬底架(高达1000RPM)设计,并配备了白光光学监视器(WLOM)——更为准确的实时光学薄膜控制
  • 配置灵活 ——适于先进的研究应用
  • 灵活的晶圆操作方式 —— 直开式、单晶圆传送模式或者带机械手臂的盒对盒模式


牛津仪器 Ionfab 300 IBE离子束刻蚀应用

  • 磁阻式随机存取存储器(MRAM)
  • 介电薄膜
  • III-V族光电子材料刻蚀
  • 自旋电子学
  • 金属电极和轨道
  • 超导体
  • 激光端面镀膜
  • 高反射(HR)膜
  • 防反射(AR)膜
  • 环形激光陀螺反射镜
  • X射线光学系统
  • 红外(IR)传感器
  • II-VI族材料
  • 通信滤波器

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