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JGP450超高真空溅射与蒸发系统出租

产品简介:

仪器中文名称: 超高真空溅射与蒸发 仪器型号规格: JGP450 生产厂商: 中国沈阳科学仪器中心有限公司 国别: 中国 购置日期(年): 2008-3-1 使用日期(年): 2008-9-1 主要技术指标: ① 检测抽速:主溅室40分钟真空度达到6.610-4帕;进样室40分钟真空度达到6.610-3帕;蒸发...

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详细介绍


仪器中文名称: 超高真空溅射与蒸发
仪器型号规格: JGP450
生产厂商: 中国沈阳科学仪器中心有限公司 
国别: 中国
购置日期(年): 2008-3-1
使用日期(年): 2008-9-1
主要技术指标: ① 检测抽速:主溅室40分钟真空度达到6.6×10-4帕;进样室40分钟真空度达到6.6×10-3帕;蒸发室:40分钟真空度达到6.6×10-4帕; ② 检测气路:二路进气,分MFC质量流量计控制进气,手动进气,备有混气室。MFC控制范围:0~100SCCM、0~50SCCM。 ③ 检测镀膜:主溅射室磁控靶辉光放电,在指定样品镀膜,计算机控制镀膜时间;蒸发室:蒸发源可以蒸发材料,在指定样品镀膜。 ④ 检测加热系统:溅射室/蒸发室,室温~600℃,程序控温;进样室退火:退火温度,最高700℃(三室共用一套加热控温系统)。 ⑤ 检测极限真空:主溅射室6.6×10-5帕;进样室6.6×10-4帕;蒸发室8.0×10-5帕。 ⑥ 检测真空漏率:主溅射室/蒸发室,停机关泵12小时后真空≤5帕;进样室停机关泵12小时后真空≤10帕。 
主要附件及功能: 
本单位该仪器主要应用领域:材料, 地质矿产, 机械工程
检测项目: 单一镀膜、复合镀膜、多层镀膜 
收费标准: 面议 
 

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关键词:系统,出租,蒸发,溅射,超高,真空,JGP450,
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