仪器中文名称: 台阶仪
仪器型号规格: Alpha-Step IQ
生产厂商: KLA－TENCOR Corporation 
国别: 美国
购置日期(年): 2005-5-1
使用日期(年): 2005-11-1
主要技术指标: 扫描长度：10mm （2）扫描速度：2μm/s～200μm/s （3）台阶高度可重复性： 0.8nm的典型标准偏差或0.1%的测量垂直范围（对20μm范围）； 0.4μm的典型标准偏差或0.2%的测量垂直范围（对400μm范围）。 （4） 可测样品最大尺寸：Φ158mm （5） 可测样品最大厚度：21mm 可测样品最大重量：1kg 
主要附件及功能: 
本单位该仪器主要应用领域：材料, 机械工程
检测项目： 可测量各种材料（如磁盘、半导体晶片、精密加工和抛光面、微电子陶瓷、平面显示器玻璃、光学平面等）表面的台阶高度。 台阶必须事先做好。台阶作的越陡峭越好，最好是用光刻的方法作出，否则测试的准确性会大大变差。样品要求：平面尺寸 Φ10mm ～ Φ158mm；厚度 ＜20mm；台阶高度 ＜0.4mm。校内收费标准 
收费标准： 520元/小时