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z6尊龙凯时光伏芯片扩散制程上下货及检测系统 Model 3775
主要特色：
低破片率
高产量
机器人传送取放
表面检查：选配
上货载具：石英晶舟
下货载具：Manz盒 / Cassette(选项)
通常用于芯片磷扩散的炉管制程。在扩散制程中致茂可提供客户使用短版的晶舟， 或长版晶舟来上下载具的传输设备。芯片的传送使用高速富挠性的取放机器人。致茂在扩散过程中提供的载具传输设备，低破片率，高产量和低成本可满足客户的扩散制程功能要求。
