捷欧路JEOL JSM-7900F 热场发射扫描电子显微镜
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简介:捷欧路JEOL JSM-7900F 热场发射扫描电子显微镜新一代FE-SEM旗舰机型。 它继承了上一代广获好评的如极高的空间分辨率、高稳定性、多种功能等性能的同时,操作性能极大地简单化。 该设备不依赖操作者的技能,始终能够发挥其最佳性能。 ...
分辨率 |
1.1 nm (0.5 kV)*1、1.0 nm*2 0.7 nm (1 kV)*1、0.7 nm*2 0.7 nm (15 kV)*1、0.6 nm*2 3.0 nm (5 kV、WD: 10 mm、5 nA)*1 *1: Gap method、*2:Edge method |
倍率 | ×25 ~ ×1,000,000 |
加速电压 | 0.01 ~ 30 kV |
探针电流 | 数 pA ~ 500 nA |
检测器(标配) | 高位检测器(UED)、低位检测器(LED) |
电子枪 | 浸没式肖特基Plus场发射电子枪 |
最佳光阑角控制镜 | 内置 |
物镜 | 超级混合式物镜/SHL |
自动功能 | 自动聚焦、自动消像散、自动调节亮度、自动调节衬度 |
大景深模式(LDF) | 内置 |
样品台 | 全对中测角样品台 |
样品移动 | X:70mm Y:50mm Z:2 ~ 41mm 倾斜轴:-5 ~ 70° 旋转:360° |
马达驱动 | 5轴马达驱动 |
样品交换室 | 最大直径: 100mm 最大高度: 40mm |
抽真空系统 | SIP、TMP、RP |
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