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捷欧路JEOL JSM-7800FPRIME 热场发射扫描电子显微镜

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简介:捷欧路JEOL JSM-7800FPRIME 热场发射扫描电子显微镜采用新开发的超高分辨率GBSH模式,达到了世界最高水准的分辨率。浸没式肖特基Plus电子枪,将最大探针电流从200nA提高到了500nA。电子枪和低像差聚光镜的优化组合,实...

  • 产品介绍
捷欧路JEOL JSM-7800FPRIME 热场发射扫描电子显微镜采用新开发的超高分辨率GBSH模式,达到了世界最高水准的分辨率。浸没式肖特基Plus电子枪,将最大探针电流从200nA提高到了500nA。电子枪和低像差聚光镜的优化组合,实现了更高的亮度,能有效采集电子枪中发射的电子,即使在低加速电压下也能获得几pA~数10 nA 探针电流,保持最小的物镜光阑就可以进行纳米尺寸的高分辨率观察、快速元素面分布及EBSD分析。
捷欧路JEOL JSM-7800FPRIME 热场发射扫描电子显微镜配有四种检测器:高位检测器(UED) 、高位二次电子检测器(USD)、背散射电子检测器(BED)和低位检测器(LED)。UED过滤器的电压不同,二次电子和背散射电子的数量会改变,因此可以选择电子的能量,USD检测被过滤器弹回的低能量电子,BED通过检测低角度的背散射电子,能清楚地观察通道衬度。利用LED的照明效果能够获得含有形貌信息的、富有立体感的图像。
捷欧路JEOL JSM-7800FPRIME 热场发射扫描电子显微镜图片
分辨率 0.7 nm(15 kV)、0.7 nm(1 kV)
分析模式:3.0 nm (5kV、WD10mm、5nA)
倍率 × 25 ~ × 1,000,000
加速电压 0.01kV ~ 30kV
束流 数pA~500nA
自动光阑角最佳控制透镜 内置
检测器 高位检测器(UED)
低位检测器(LED)
能量过滤器 UED过滤器电压可变功能内置
Gentle Beam模式 内置
样品台 全对中测角样品台、5轴马达驱动
样品移动范围 X:70mm, Y:50mm  Z: 2mm to 25mm 倾斜-5 ~ +70°  旋转360°
应用实例
捷欧路JEOL JSM-7800FPRIME 热场发射扫描电子显微镜标配了GBSH模式。下图是高定向热解石墨(HOPG)解理面的二次电子像,到达样品时的能量为1keV,左图中样品偏压为-2kV,右图中样品偏压为-5kV。 可以看出利用GBSH(样品偏压-5 kV)模式观察,HOPG的微细结构更加清晰,达到的分辨率更高。

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