捷欧路JEOL JSM-7610FPlus 热场发射扫描电子显微镜
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简介：捷欧路JEOL JSM-7610FPlus 热场发射扫描电子显微镜的光学系统经过改进，实现了分辨率（15kV 0.8nm、1kV 1.0nm）的进一步提升，以崭新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸没式物镜和High Power ...
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- 产品介绍
捷欧路JEOL JSM-7610FPlus 热场发射扫描电子显微镜的光学系统经过改进，实现了分辨率（15kV 0.8nm、1kV 1.0nm）的进一步提升，以崭新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸没式物镜和High Power Optics照明系统，能提供稳定的高空间分辨率观察和分析。
此外还具备利用GENTLEBEAMTM模式进行低加速电压观察、通过r-filter分选信号等满足各种需求的高扩展性。
捷欧路JEOL JSM-7610FPlus 热场发射扫描电子显微镜主要特点如下：
1.半浸没式物镜在样品周围形成强磁场，因而可以获得超高分辨率。
2.High Power Optics 是独特的电子光学系统，既实现了高倍率观察又能进行多种分析。浸没式肖特基场发射电子枪，可以获得10 倍于传统肖特基场发射电子枪（FEG）的探针电流，最佳光阑角控制镜（ALC）在探针电流增大时也能保持小束斑，两者组合起来能提供200 nA 以上的探针电流。强大的High Power Optics 系统，从高倍率图像观察到EDS分析和EBSD 解析可以一直使用高分辨率的最小物镜光阑而不需要改换。
| 二次电子像分辨率 |
0.8 nm（加速电压 15 kV），1.0 nm（加速电压 1 kV ） 分析时 3.0 nm (加速电压 15 kV, WD 8 mm, 探针电流 5 nA ) |
| 倍率 |
Direct magnification: x25 to 1,000,000（120 x 90 mm） Display magnification: x75 to 3,000,000（1,280 x 960 pixels） |
| 加速电压 | 0.1 ～ 30 kV |
| 探针电流 | 数 pA ～ 200 nA |
| 电子枪 | 浸没式肖特基场发射电子枪 |
| 透镜系统 | 聚光镜（CL）、 最佳光阑角控制镜（ACL）、 半浸没式物镜（OL） |
| 样品台 | 全对中测角样品台、5轴马达驱动 |
| 电子检测器系列 | 高位检测器、 r‐过滤器 内置、 低位检测器 |
| 自动功能 | 自动聚焦、自动消象散、自动亮度/衬度调节 |
|
图像观察用 液晶显示器 |
屏幕尺寸 23英寸宽屏 最大分辨率 1,920 × 1,080像素 |
| 抽真空系统 |
电子枪室／中间室 SIP 离子泵 样品室 TMP 分子泵 |
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