捷欧路JEOL JSM-7500F 冷场发射扫描电子显微镜
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- 产品介绍
捷欧路JEOL JSM-7500F 冷场发射扫描电子显微镜配备了冷场发射电子枪和半浸没式（semi-in-lens）物镜，配合Gentle Beam （GB模式即柔和光束）能够达到极高的分辨率。通过与GB模式组合，即使是用几百电子伏的入射电子束也能获得很高的分辨率，是非常适合观察样品浅表面的装置之一。此外，JSM-7500F还可以选配用于元素分析等的各种附件。捷欧路JEOL JSM-7500F 冷场发射扫描电子显微镜的电子光学系统将场发射电子枪和半浸没式（semi-in-lens）物镜组合为一体，冷场发射电子枪在低加速电压下也能够将电子束聚焦得很细，与通用型扫描电镜一样，对大样品也可以进行高分辨率的观察。
捷欧路JEOL JSM-7500F 冷场发射扫描电子显微镜通过给样品加以偏压并照射电子束，利用分辨率高于一般模式的Gentle Beam模式 （柔和光束），以几百电子伏的入射电子对样品的浅表面进行高分辨率观察，这是迄今为止未能实现的。新型 r-过滤器有标准SB（二次电子检测）模式、标准BE模式（背散射电子检测）、Sb模式（二次电子为主）和Bs模式（背散射电子为主）四种模式。Sb模式能检测混有任意比例背散射电子的二次电子，Bs模式能检测混有任意比例二次电子的背散射电子，这些功能在简明易懂的菜单上都可一键操作完成。
| 电子枪 | 冷场发射 |
| 物镜 | semi-in-lens物镜 |
| 分辨率 | 1.0 nm @ 15 kV、1.4 nm @ 1 kV |
| 加速电压 | 0.1～30kV |
| 束流 | 1pA ～ 2nA |
| 自动光阑角最佳控制透镜 | 内置 |
| 倍率 | x 25 ～ x 1,000,000 |
| 检测器 |
高位检测器（SED） 低位检测器（LED） |
| 能量过滤器 | r-能量过滤器 |
| Gentle Beam模式 | 内置 |
| 样品交换室 |
内置（具有干燥氮气导入功能） 气锁式、可交换的最大样品：φ100mm×40mmH |
| 样品台 | 5轴马达驱动、全对中测角样品台 |
| 样品移动范围 | X: 70 mm , Y: 50 mm，Z: 1.0～25 mm，倾斜:-5～70°, 旋转: 360° |
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