捷欧路JEOL JEM-3200FS 场发射透射电子显微镜
名称:其他仪器与工具
品牌:
型号:
简介:捷欧路JEOL JEM-3200FS 场发射透射电子显微镜配备了最高加速电压为300kV的场发射电子枪(FEG)和镜筒内置式型能量过滤器,能为广泛的研究领域提供各种全新的解决方案。捷欧路JEOL JEM-3200FS 场发射透射电子显微镜镜...
物镜极靴*1 | 超高分辨UHR | 高分辨率HR | 高倾斜HT | 高衬度HC |
分辨率 | ||||
点分辨率 晶格分辨率 |
0.17nm 0.1nm |
0.19nm 0.1nm |
0.21nm 0.1nm |
0.26nm 0.14nm |
能量分辨率 | 0.9 eV(零损失FWHM) | |||
加速电压 | 300kV,200kV,100kV*2 | |||
最小步长 能量位移 |
100V 最大3,000V (以0.2V为步长) |
|||
电子枪 | ||||
发射体 | ZrO/W(100) 肖特基式 | |||
亮度 | ≧7×108 A/cm2 ・ sr | |||
真空度 | 3×10-8Pa | |||
探针电流 | 探针直径为1nm时,电流在0.5nA以上 | |||
稳定度 | ||||
加速电压 | 2×10-6/min | |||
物镜电流 | 1×10-6/min | |||
过滤器透镜电流 | 1×10-6/min | |||
物镜 | ||||
焦距 | 2.7 mm | 3.0 mm | 3.5 mm | 3.9 mm |
球差系数 | 0.6 mm | 1.1 mm | 1.4 mm | 3.2 mm |
色差系数 | 1.5 mm | 1.8 mm | 2.2 mm | 3.0 mm |
最小焦距步长 | 1.0 nm | 1.4 nm | 1.5 nm | 4.1 nm |
束斑尺寸 | ||||
TEM 模式 | 2 ~ 5 nmφ | 2 ~ 5 nmφ | 7 ~ 30 nmφ | |
EDS 模式 | 0.4 ~ 1.6 nmφ | 0.5 ~ 2.4 nmφ | 4 ~ 20 nmφ | |
NBD 模式 | 0.4 ~ 1.6 nmφ | 0.5 ~ 2.4 nmφ | - | |
CBD 模式 | 0.4 ~ 1.6 nmφ | 0.5 ~ 2.4 nmφ | - | |
电子束衍射 | ||||
衍射角(2α) | 1.5 t~ 20 mrad | - | ||
取出角 | ±10 ° | - | ||
倍率 | ||||
MAG 模式 | ×2,500 ~ 1,500,000 | ×2,000 ~ 1,200,000 | ×1,500 ~ 1,200,000 | |
LOW MAG 模式 | ×100 ~ 3,000 | |||
SA MAG 模式 | ×8,000 ~ 600,000 | ×6,000 ~ 500,000 | ×5,000 ~ 500,000 | |
视野 |
10eV时狭缝宽度60mm(底片上) 2eV时狭缝宽度25mm(底片上) |
|||
相机长度 | ||||
选区电子衍射 | 200 ~ 2,000 mm | 250 ~ 2,500 mm | 400 ~ 3,000 mm | |
EELS 散射 | ||||
能量选择 在能量选择狭缝上 |
0.85 μm/eV , 300 kV | |||
底片上 | 100 ~ 220 μm/eV , 300kV | |||
样品室 | ||||
样品移动范围 (XY/Z) | 2mm/0.2mm | 2mm/0.4mm | 2mm/0.4mm | 2mm/0.4mm |
样品倾斜角 (X/Y) | ±25°/±25°*3 | ±35°/±30°*3 | ±42°/±30°*3 | ±38°/±30°*3 |
EDS*4 | ||||
固体角 | 0.13 sr | 0.09 sr | ||
取出角 | 25° | 20° |
最新产品
相关产品