捷欧路JEOL IB-19530CP 截面样品制备装置
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简介:捷欧路JEOL IB-19530CP 截面样品制备装置采用多用途样品台,通过交换各种功能性样品座实现了功能的多样化。根据需要可以选择不同的功能性样品座,不仅能截面刻蚀,还可以进行平面刻蚀、离子束溅射镀膜等。通过配备高速离子源和利用自动开始加...
离子加速电压 | 2~8kV |
刻蚀速率 | 500μm/h |
承载样品的最大尺寸 | 11mm(宽度)×10mm(长度)×2mm(厚度) |
样品摆动功能 | 刻蚀过程中,样品自动摆动±30° (专利:第4557130号) |
自动加工开始模式 | 达到设定的压力值后可自动开始加工。 |
间歇加工模式 | 脉冲控制离子束流照射,可以抑制加工时产生的热量。 |
精抛加工模式 | 主加工结束后,自动开始精抛加工。 |
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