布鲁克Bruker Dektak XTL 探针式轮廓仪优异的精确度、可重复性和再现性广泛应用于大尺寸晶片及面板制造业。该系统可容纳多达350mm*350mm的样品,使得传奇性的Dektak系统可以实现从200mm到300mm的晶片制造。布鲁克Bruker Dektak XTL 探针式轮廓仪集成气体隔震装置和方便的交互锁装置使仪器在全封闭工作环境下运行,是当今要求苛刻的生产环境的理想之选。
它的双摄像头设置使空间感增强,其高水平自动化可最大限度提高生产量。Bruker公司特有的具有图形识别功能的Vision64 生产接口可满足用户需求,使数据采集成为一个自主的和可重复的过程,最大限度地降低操作员的变化带来的影响。布鲁克Bruker Dektak XTL 探针式轮廓仪已经针对持续生产工作时间和最大生产量在工艺开发和质量保证与质量控制应用方面进行了全面优化,将本产品设计为业界最易使用的探针式轮廓仪。
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Bruker公司特有的双摄像头控制系统,通过点击实时视频更快锁定到关注点;通过选择实时视频中的两个点快速定位样品(自动旋转使连线水平);通过在实时视频中点击扫描起始和结束位置简化测量设置(教学)。可靠的自动化设置和操作,借助300毫米的自动化编码XY工作台以及360度旋转能力,精确编程控制无限制测量位置;利用带图形识别功能的Vision64位产品软件最大程度减少使用中的定位偏差;将自定义用户提示以及其它元数据编入您的方案中,并存储到数据库内。方便的分析和数据采集,快速分析仪支持大部分常用分析方法,可轻松实现分析程序自动化;通过台阶检测功能将分析集中于复杂样品上感兴趣的特征;通过赋予每个测量点唯一名称并自动记录到数据库来简化数据分析;Dektak在大样品制造业中的传奇性能。业界最佳的自动分析软件,新增软件功能使Dektak XTL成为市面上最强大、最易使用的探针式轮廓仪。系统使用的Vision64软件,与Bruker公司的光学轮廓仪完全兼容。Vision64软件可以进行样品任何位置测量、3D绘图以及借助数百个内置分析工具实现的高度定制表征方法。也可以使用Vision Microform软件来测量曲率半径等形状。图形识别功能可以尽量减少操作员误差并提高测量位置精度。在同一软件包内,以直观流程进行数据采集和2D、3D分析。每个系统都带有Vision软件许可证,可在装有Windows7操作系统的个人电脑上安装,用户可在电脑桌面上创建数据分析和报告。
无与伦比的探针式检测技术,布鲁克Bruker Dektak XTL 探针式轮廓仪拥有超过40年的探针专业经验和软件定制生产经验,符合现在和未来的严格的行业发展蓝图。300毫米高精度编码XY工作台为制造商提供可靠工具,满足严格的可重复性和再现性要求。Dektak双摄像头控制系统装有俯视摄像头以及顶尖高倍率侧视摄像头,使空间感增强;通过在视频上点击定位使操作者能够快速调整样品至正确位置,以便进行快速简单的测量设置和自动化编程。系统方便使用的连锁门使样品装载和卸载更加安全快捷。其它硬件特性包括:为达到极低噪音水平而使用的单拱结构和集成隔离结构;可快速更换和自动校准的探针;为加速自动数据采集而使用的高精度编码XY工作台;N-Lite低作用力时候采用Soft Touch 技术与1mm测量范围同时使用,可进行精细、高垂直范围样品测量。大幅面应用的关键成果,凭借其优越性能和易用性的独特结合,布鲁克Bruker Dektak XTL 探针式轮廓仪成为新的质量保证/质量控制的研究标准,布鲁克Bruker Dektak XTL 探针式轮廓仪被应用于触摸面板、太阳能板、平板显示器和半导体行业的工业薄膜沉积监测。
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