牛津仪器 纳米操纵手OmniProbe 200是一款安装在FIB和SEM端口上的纳米操纵手,内置了一个100nm闭环反馈控制器,具有准确、灵活、易用等特点。使用闭环系统进行操作,完全独立于电镜样品台定位,从而为样品操作提供了额外的自由度。该专利利用定制的样品台和探针组合(CSP)可将样品重新定位到特定角度。
牛津仪器 纳米操纵手OmniProbe 200以其有效性和易于操作和使用而闻名,用户可以:
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中和样品表面富集电荷;
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测量纳米结构的电学性能(EBIC,EBAC,电流探测);
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在FIB中进行TEM样品制备,包括平面样品和背切样品;
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在SEM中制被以用于TEM和原子探针观察;
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制备用于TEM、EDS及其它分析所需的高质量样品;
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冷冻提取。
特色和优点
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包括第8代具有创新性的先进技术;
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实现从纳米线操作到TEM样品制备,再到电学和机械测量的各种应用;
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3轴样平台可以沿任意方向线性移动(全向性);
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在任何样品倾斜角度下都能实现正交导航;
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将样品快速旋转到特定角度;
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可以大范围内执行平稳而精确的操作;
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即使在视野外也始终知道探头尖端的位置;
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在任意端口安装都可以预测移动行为;
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可以轻松地调出存储位置,减少操作员疲劳,并提高成功率;
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避免碰撞;
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气动插入/回缩链接到电镜软件(取决于OEM);
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内置能力,可为针施加最大+/- 10 V的偏压,用于电压衬度成像或其他应用。
同轴旋转功能
同轴旋转分辨率可达0.1度,使样品在旋转期间一直处于相当于60um水平视场的放大倍率下成像。
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可以安全的完成样品旋转,没有任何碰撞的风险。每次旋转后,不需要重新定位样品或探针尖端。
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在FIB中,这保证了对针尖打磨的速率及简易性,以改善电学特性表征的可靠性及对20nm以下特征样品尺寸进行操作时的精确性。
自动化系统
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电脑和显示器;
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2U机架式以太网控制器;
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带有100nm线性反馈的3轴样平台;
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运动控制软件界面;
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用户手册和安装指南。