Keithley吉时利 数字源表源测量单元（SMU）2600B系列
名称：其他仪器与工具
品牌：
型号：
简介：Keithley吉时利 系统数字源表 ? 源测量单元（SMU）仪器 2600B系列系统数字源表源测量单元（SMU）仪表是业界一流的电流/电压源 与测量解决方案，它是利用吉时利第三代源测量单元（SMU）技术建造的。2600B 系列产品包括单通...
申请服务
- 产品介绍
Tektronix泰克 数字源表源测量单元（SMU）2600B系列是业界一流的电流/电压源 与测量解决方案，它是利用吉时利第三代源测量单元（SMU）技术建造的。Tektronix泰克 数字源表源测量单元（SMU）2600B系列产品包括单通道和双通道型号，集成了高精密电源、真正电流源、6位半数字多用表（DMM）、任意波形发生器、脉冲发生器以及电子负载等功能——这些功能都在一个高度集成的仪器机箱内。这是一个功能强大的解决方案，大大提高了从台式 I/V特性分析道高度自动化生产测试等各种应用中的测试效率。对于台式应用，Tektronix泰克 数字源表源测量单元（SMU）2600B系列数字源表内置基于Java的测试软件，支持即插即用I/V测试，可以通过世界各地任何计算机浏览器运行。对于自动化系统应用，2600B系列数字源表的测试脚本处理器(TSP)，可以运行仪器内存储的完整测试程序，实现业界最佳的吞吐量。在更大型的多通道应用中，吉时利的TSP-Link技术与TSP协同工作，实现了高度、SMU-per-pin并行测试。由于2600B系列数字源表源测量单元（SMU）仪表具有不需要主机的、完全隔离的通道，因此，可以根据测试应用需求的进展，很容易进行重新配置和重新部署。
Tektronix泰克 数字源表源测量单元（SMU）2600B系列是业界标准电流-电压源和测量解决方案，适用于高度自动化生产测试应用。 双通道和单通道型号都紧密集成一个精密电源、真正电流源、数字万用表和具有脉冲生成功能的电子负载。 另外，TSP® 技术可运行完整测试程序，适用于自动化系统应用，TSP-链路®技术允许菊花式链接最多 64 条通道，适用于大容量并行测试。
完整的生产测试，无需牺牲空间
满足您的所有生产测试需求，在同一空间内有两条完全隔离的宽动态源和测量通道。 每条 40 W 通道提供 6½ 位精确分辨率源，在小于 100 µs 脉冲宽度和设定值的 0.1% 范围内，测量 10 A 到 0.1 fA 和 200 V 到 100 nV。
特点
- 在同一空间内可有 2 条通道
- 最宽的电压和电流动态范围
- 高度准确的 100 µs 脉冲可扩展直流生产测试能力
嵌入式脚本提供无与伦比的生产吞吐量
测试脚本处理器 (TSP®) 技术可在 SMU 仪器内嵌入和执行完整测试程序，提供业界最佳性能。
特点
- 消除与 PC 之间耗时的总线通信
- 高级数据处理和流量控制
- 通用型探头/处理程序控制
系统性能，无主机
TSP-Link® 技术支持扩展多达 64 条通道，支持高速、SMU-per-pin 并行测试（而不使用主机）。 <500 ns 时所有通道同时独立受控。
特点
- 支持 <500 ns 通道间同步
- 可达 32 条或 64 条独立 SMU 通道
- 随着测试要求变化轻松重新配置
适合生产的最佳低电流性能
2635B 和 2636B SMU 在最低 100 pA 范围内提供 0.1 fA、10-16 分辨率，减少超低电平样本检定烦恼，确保生产成功。
特点
- 在最低电流范围内稳定时间快 7 倍
- 具有市面上的最佳低电流分辨率
- 直接三芯同轴连接简化了设置
| 型号 | 通道 | 最大电流源/量程 | 最大电压源/量程 | 测量分辨率（电流/电压） | 电源 |
| 2601B | 1 | 10A | 40V | 100fA / 100nV | 200 W |
| 2611B | 1 | 10A | 200V | 100fA / 100nV | 200 W |
| 2604B | 2 | 10A | 40V | 100fA / 100nV | 200 W |
| 2614B | 2 | 10A | 200V | 100fA / 100nV | 200 W |
| 2612B | 2 | 10A | 200V | 100fA / 100nV | 200 W |
| 2602B | 2 | 10A | 40V | 100fA / 100nV | 200 W |
| 2635B | 1 | 10A | 200V | 0.1fA / 100nV | 200 W |
| 2634B | 2 | 10A | 200V | 1fA / 100nV | 200 W |
| 2636B | 2 | 10A | 200V | 0.1fA / 100nV | 200 W |
Tektronix泰克 数字源表源测量单元（SMU）2600B系列是唯一内置基于Java测试软件的源测量单元（SMU）仪表， 支持真正的即插即用I/V特性分析，可以通过世界各地任何计算机浏览器运行。这个独特功能提高了研发、教育和QA/FA等各种应用的测试效率。只需通过附送的 LAN电缆，将2600B数字源表连接至互联网，打开浏览器，输入2600B的IP低至，即可开始测试。测试结果可以下载之电子数据表（如Excel），供进一步的分析和格式化，或者导入其他文档或演示文稿。
采用TSP技术，提供无与伦比的吞吐量，适合自动测试
对于需要最高自动化和吞吐量级别的测试应用来说，2600B数字源表的TSP技术提供了业界最佳的性能。TSP技术远远超越传统的测试命令序列……它完全嵌入，然后，在源测量单元（SMU）仪器内部执行完整的测试程序。这实际上避免了所 有耗时的总线-PC控制器之间的通信，因此，大幅缩短整个测试时间。
TSP技术将执行来自2600B系列数字源表内非易失性存储的完整测试程序。
通过TSP-Link技术，实现SMU-Per-Pin并行测试
TSP-Link是通道扩展总线，支持多 个2600B系列数字源表互连，成为一个单 一、严格同步的多通道系统。2600B的 TSP-Link技术与其TSP技术协同工作，支 持高速、SMU-per-pin并行测试。与大型 自动测试设备系统等其他高速解决方案 不同的是，2600B在无需主机成本或负担 情况下，实现了并行测试性能。基于TSP -Link技术的系统，还支持出众的灵活性， 可以根据测试需求的变化，迅速而容易 地对系统进行重新配置。
在TSP-Link系统中，所有通道的同步都控制在 500ns以内。
2400型软件仿真
2600B系列数字源表，与为吉时利2400 型数字源表源测量单元（SMU）仪表开发的测试代码兼容。这使得基于2400型数字源 表的测试系统更容易地升级至2600B系列， 并使测试速度提高高达80%。此外，它还提供了从SCPI编程转到吉时利TSP技术的过渡路径，实施后，可以进一步缩短测试时间。
为了全面支持遗留的测试系统，在这个模式下，还完全支持2400型源存储清单测试序列。
第三代SMU设计，确保实现更快的测试时间
在早期2600系列仪器成熟的架构基础 上，2600B系列最新的源测量单元（SMU） 仪表设计从几个方面提高了测试速度。例 如，早期的设计采用的是并联电流量程调 节结构，而2600 B系列采用了已申请专利 的串联量程调节结构，这种结构具有更快 更平滑的量程变换过程和稳定速度更快的 输出。
SMU-Per-Pin并行测试采用TSP与TSP-Link技术，提高测试吞吐量，并降低测试成本。
2600B系列数字源表源测量单元 （SMU）仪表设计支持对各种负载使用 两种操作模式。在普通模式下，源测 量单元（SMU）仪表为最大吞吐量提供 高带宽性能。在高电容模式下，源测 量单元（SMU）仪表使用较慢的带宽， 为较高电容负载提供鲁棒的性能。
简化半导体元件测试、验证与分析
可选配的ACS Basic版本软件实现了客户效率的最大化，使客户可以在开发、质量认证或故障分析中，对封装器件进行特性分析。主要特性包括：
- 内容丰富、易于访问的测试库
- 脚本编辑器，实现现有测试的快速定制
- 数据工具，便于迅速比较测试结果
- 公式工具，便于分析俘获的曲线，并提供多种数据函数。
欲了解有关ACS Basic版本软件的更多信息，参见ACS Basic版本数据表。
强大的软件工具
除了基于Java的嵌入式即插即用软 件以及可选配的ACS Basic版本软件，免 费Test Script Builder软件工具，可以 帮助用户创建、修改、调试和存储TSP测 试脚本。图1给出2600B系列数字源表软 件工具的主要特性。
2600B系列产品3个最新型号的双通道 台式数字源表，提供业界最佳的价值 和性能
如果想调试设计问题，首先必须知道存在问题。每个设计工程师都要用大量的时间查找电路中的问题，如果没有合适的调试工具，这项任务耗时长、非常麻烦。
为了满足那些不需要一流系统级自 动化能力的应用需求，吉时利对2600B系 列数字源表进行了扩展，推出3中最新的 高性价比台式型号产品——2604B、2614B和 2634B。这些型号产品性能分别与2602B、 2612B和2636B相似，但它们不包括TSP Link、接触检查以及数字I/O能力。
完整的自动化系统解决方案
吉时利S500综合测试系统是基于仪 器的、可高度配置的系统，适合器件、 晶圆或晶圆盒的半导体特性分析。S500 综合测试系统基于已被证明的2600系列 系统数字源表源测量单元（SMU），提供 创新的测量特性与系统灵活性，可以根据需求进行升级。其独特的测量能力， 再加上强大而灵活的自动特性分析套 件(ACS)软件，为客户提供全面的应用 范围和特性，这是市场上竞争产品所不具备的。
表1 2600B软件工具
| 特征/功能 | ACS Basic版本 | 基于Java即插即用软件 | Test Script Builder (TSB) |
|---|---|---|---|
| 说明 | 半导体特性分析软件， 用于元件测试、验证 与分析 | 迅速启动的、基于Java即插即用软件工具，支持快速和容易的I-V测试，主要用于台式和实验室用户 | 为TSP仪器定制的脚本编写工具 |
| 支持的硬件 | 2400系列、2600B系列、4200-SCS | 2600B系列 | 2600B系列，3700系列 |
| 支持的总线 | GPIB, LAN/LXI | LAN / LXI | GPIB, RS-232,LAN/LXI, USB |
| 功能 | 基于向导的直觉图形用户接口（GUI），丰富的测试测试库和曲线跟踪能力 | 直线/对数扫描、脉冲、自定义扫描、单点源测量注意：可使用2600B的新API实现精确定时和通道同步 | 总体灵活的自定义脚本，功能齐全的调试器 |
| 数据管理 | 公式工具，包括多种数学函数 | .csv文件导出 | 用户定义 |
| 安装 | 选购 | 不需要。内嵌在仪表中 | 免费下载或CD提供，安装在PC上 |
当您需要对封装器件数据进行快速采集时，通过 ACS Basic版本软件基于相当的用户界面，很容易 发现和运行期望的测试，就像常见的 FET曲线跟 踪测试一样。
ACS Basic版本软件具有灵活的软件体系结构，允许为 系统配置多种控制器与测试夹具，并可以根据应用需要， 配置所需的数字源表数量。
典型应用
各种器件的I-V功能测试和特征分析，包括：
-
分立和无源元件
– 两抽头器件——传感器、磁盘驱动器头、金属 氧化物可变电阻（MOV）、二极管、齐纳二极 管、电容、热敏电阻
– 三抽头器件——小信号双极结型晶体管（BJT）场效应晶体管（FET），等等 - 简单IC器件——光学器件、驱动器、开关、传感 器、转换器、稳压器
-
集成器件——小规模集成（SSI）和大规模集成（LSI） – 模拟IC
– 射频集成电路（RFIC）
– 专用集成电路（ASIC）
– 片上系统（SOC）器件 - 光电器件，例如发光二极管（LED）、激光二极管高亮度LED（HBLED）、垂直腔面发射激光器 （VCSEL）、显示器
-
圆片级可靠性
– NBTI、TDDB、HCI、电迁移 - 太阳能电池
- 电池
- 更多…
2604B/2614B型仪表的背板
(单通道2601B, 2611B, 2635B没有给出)。
2636B型仪表的背板
在第一和第三象限，2600B系列仪器用作信号源，向负载提供 电源。在第二和第四象限，2600B系列仪器用作信号宿，内部 消耗功率。