HEIDENHAIN 海德汉 敞开式光栅尺
LIP敞开式直线光栅尺精度优于±1 μm
LIP敞开式直线光栅尺的特点是测量步距小,精度高。其测量光栅采用基于玻璃或玻璃陶瓷的相位光栅。
LIP型光栅尺主要用于:
测量机和比较仪
测量显微镜
超精密机床,例如加工光学元件的金刚石车床,加工磁盘的端面车床和加工铁氧体元件的磨床
半导体工业的测量和生产
电子工业的测量和生产设备
LIP300 系列
分辨率高,测量步距可达1纳米
信号周期极小,因此重复性极高
采用Zerodur玻璃陶瓷测量光栅,因此它具有确定的温度特性
LIP400 系列
尺寸紧凑测量步距达0.005μm
可提供多种热膨胀系数的光栅尺
LI[P500系列
测量长度可达1440mm
测量步距达0.05 μm
LIF,LIDA敞开式直线光栅尺精度为±3μm
LIF 和 LIDA 光栅尺的特点是易于安装。其典型应用包括:
坐标测量机
检测机
PCB 板组装机
PCB 板钻孔机
精密操作设备
测量直线电机的位置和速度
用SUPRADUR工艺在玻璃基体可知的相位光栅作为LIF直线光栅尺的测量光栅。其信号周期小,因此重复性好。
LIDA 直线光栅尺采用AURODUR钢带光栅作测量光栅。它适合于高速转动测量,最高速度可达8m/s.由于其特殊的扫描方法使它承受光栅尺上的污染和安装面不平的能力较强。
LIP400 系列
用HEIDENHAINPRECIMET弹性胶带壳快速方便地固定光栅尺
由于采用SUPRADUR刻线技术使它对污染不敏感
重复性好
具有确定温度特性
安装速度快
用限位开关和回零轨检测位置