日立 SU1510 扫描电子显微镜
名称：光学测试仪器
品牌：
型号：
简介：日立 SU1510 扫描电子显微镜是一款带有中等尺寸样品室的可变压力扫描电子显微镜，具有与S -3400N和S -3700N相同的性能和功能。极大地提高了低加速电压的性能，并增加了电子束电流更适应当今的SDD X射线探测器。双端口可以同时安...
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- 产品介绍
日立 SU1510 扫描电子显微镜是一款带有中等尺寸样品室的可变压力扫描电子显微镜，具有与S -3400N和S -3700N相同的性能和功能。极大地提高了低加速电压的性能，并增加了电子束电流更适应当今的SDD X射线探测器。双端口可以同时安装两个相隔180度的EDS检测器，不仅可以用于元素分析，而且也可消除因样品的粗糙表面所引起的X射线图像的阴影。高速，清洁，高效的涡轮分子泵（TMP）无需使用冷却水。体型小巧，超高性能和操作便捷等卓越性能使得SU1510成为一款能够完全满足任何先进实验室需求的可变压力的扫描电子显微镜。
日立 SU1510 扫描电子显微镜特点
标准配备涡轮分子泵（TMP）。因为无油，最大限度的地减少了样品污染。和传统的油扩散泵扫描电子显微镜不同，此款产品不需较大的加热功率和水冷循环装置，从而使得它成为一款有利于节能，生态环保的扫描电子显微镜。
为了帮助没有经验的用户，SU1510通过屏幕上的操作指南来引导用户逐步完成成像过程 - 从选择真空模式到捕捉图像。这项独特的功能，使所有不同经验水平的用户都可以快速获得高质量的图像。
SU1510所采用的先进技术能够保证二次电子分辨率达到3.0nm（高真空模式），保证背散射电子分辨率达到4.0nm（可变压力模式）。
为了便于对非导电样品快速观察，SU1510采用了可变压力模式来消除负电荷，并为成像和EDX分析提供了最佳条件。（*1）
样品室和样品台的独特设计使其可以装载直径达153mm的样品。分析时工作距离为15mm，样品最大高度60mm，可同步进行EDX分析和成像。
如用户需要可变压力模式下的二次电子像，可选择ESED-II（*2）配件。因为该检测器已集成到SU1510的图形用户界面里，并完全采用了全自动化软件驱动模式，以便操作者随时使用。
（*1）X射线能谱分析仪（可选件）
（*2）：环境二次电子检测器（可选件）
（*3）：请自备桌子。
（*4）：上述图像仅为模拟图像，非实际图像。
 项目 |
描述 | |
| 二次电子分辨率 | 30kV时，3.0nm（高真空模式） | |
| 背散射电子分辨率 | 30kV时，4.0nm（低真空模式） | |
| 放大倍率 | ×5 - ×300,000 | |
| 加速电压 | 0.3 - 30kV | |
| 低真空范围 | 6 - 270Pa 图形菜单 | |
| 图像移动 | ±50µm（WD=15mm） | |
| 最大样品尺寸 | ¢153mm | |
| 样品台 | X | 0 - 80mm |
| Y | 0 - 40mm | |
| Z | 5 - 50mm | |
| R | 360° | |
| T | -20° - 90° | |
| 可观察区域 | ¢126mm（可旋转） | |
| 最大样品高度 | 60mm（WD=15mm） | |
| 电子光学 | 电子枪 | 预对中钨灯丝 |
| 物镜光阑 | 4孔可变物镜光阑 | |
| 枪偏压 | 4偏压（可变偏压） | |
| 检测器 | 二次电子检测器 | |
| 高灵敏度背散射电子检测器 | ||
| 分析位置 | WD = 15mm, 取出角 = 35° | |
| 显示器 | 操作系统 | Windows® XP（如有更改，恕不另行通知） |
| 控制模式 | 鼠标，键盘 | |
| 显示器 | 19英寸液晶显示器（如有更改，恕不另行通知） | |
| 自动合轴 | 自动束流设定，自动合轴 | |
| 自动图像调整 | 自动聚焦，自动消象散/聚焦 | |
| 自动调整亮度和对比度 | ||
| 存储图像精度 | 640 × 480 像素, 1,280 × 960 像素 | |
| 2,560 × 1,920 像素, 5,120 × 3,840 像素 | ||
| 图像存档 | 检索功能/内置图像数据库，带图像处理功能 | |
| 图像文件格式 | BMP，TIFF，JPEG | |
| 自动数据显示 | 加速电压，放大倍率，微标尺，单位，工作距离，日期/时间，检测器，压力值 | |
| 图像显示模式 | 全屏模式：1,280 × 960 像素 | |
| 小屏模式：640 × 480 像素 | ||
| 2分割图像模式：640 × 480 像素 ×2 | ||
| 信号混合模式 | ||
| 排气系统 | 操作 | 全自动程序 |
| 涡轮分子泵 | 210L/s × 1 | |
| 机械泵 | 135L/min（162L/min，60Hz）× 1 | |
| 机械泵 | 断电保护，漏电保护 | |
| 辅助功能 | 光栅旋转 | |
| 动态聚焦/倾斜补偿 | ||
| 动态消像散 | ||
| 自由排版打印功能 | ||
| 三维动画维修指南 | ||
| 操作指南 | ||
| 测量方便 | ||
| 倾斜图像 | ||
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