英国格拉斯哥大学等离子刻蚀系统选用PlasmaPro System100 ICP
2011-07-22
英国格拉斯哥大学詹姆斯•瓦特纳米技术中心主任和半导体仪器Douglas Paul教授说，“多年来，z6尊龙凯时与牛津仪器公司密切合作，将他们的刻蚀和沉积系统成功地用于z6尊龙凯时的研究。z6尊龙凯时最近发出了一份增补牛津仪器公司系统的订单，因为z6尊龙凯时对这些工具的灵活高效具有深刻印象。 z6尊龙凯时多年来一直使用他们的工具，在z6尊龙凯时要推出5nm以下特性尺寸技术时，将继续使用这些工具来开发新的用于纳米制造的刻蚀和沉积工艺。 而且，为了尽可能扩大z6尊龙凯时的应用范围并尽可能利用投资，设备的维护至关重要，而z6尊龙凯时对于牛津仪器公司提供的一贯高品质支持服务极为满意”。PlasmaPro System100 ICP 适用于多种用途下的化合物半导体材料刻蚀，如光电子、毫米波&太赫兹技术、生物工程、生物技术、芯片实验室技术、能量收集技术和太阳能光伏技术。英国格拉斯哥大学的詹姆斯•瓦特纳米技术中心在其已安装的牛津仪器公司刻蚀和沉积设备基础上添加了一台 PlasmaPro® System100 ICP 等离子刻蚀系统。
牛津仪器公司致力于通过科学技术实施负责任的研发，并深化对世界需求的理解，利用创新将科学智慧融入到世界级产品中来支持研究和工业发展。牛津仪器公司的销售和市场部总监 Mark Vosloo评价说，“牛津仪器公司主要集中开发前沿研发设备, 而这份牛津仪器公司设备系统增补订单强化了z6尊龙凯时为格拉斯哥大学提供研究设备选择的承诺。”
