中科院西安光学精密机械研究所半导体激光器功率扩展面阵技术
2011-05-20
中科院西安光学精密机械研究所和西安炬光科技有限公司合作研发的“半导体激光器功率扩展面阵技术”成功设计和研发了一种半导体激光器功率扩展面阵技术，基于多叠阵光束非成像叠加、光斑控制、近场非线性控制、热管理、光谱控制等技术，实现了24单元叠阵的组合面阵，连续输出功率达27kW，功率密度大于668W/cm2，光谱宽度小于3.36nm。该技术适用于连续和准连续工作模式及不同中心波长，可扩展叠阵数，对开发大功率半导体激光器面阵新产品有重要意义。
该仪器成果主要技术进步点如下：1.采用机械或光学或者机械与光学相结合的方法有效地控制了输出光斑尺寸，提高了光斑均匀性；2.开发了大功率半导体激光器面阵的热管理技术，采用独特的热管理结构设计，保证了面阵系统的温度均匀性和稳定性；3.研究了大功率半导体激光器面阵的光谱展宽机制，提出并开发了一种有效的面阵系统光谱控制工艺技术，实现了国际领先的高功率窄线宽激光输出；4.进一步发展了提高半导体激光器阵列近场线性的工艺技术，实现了99%的产品的近场非线性低于1微米。
该成果技术复杂，难度高，设计先进，所研发的面阵在输出功率、功率密度、光谱宽度等方面达到了国际先进水平。该成果已经形成批量生产能力，在国内多家单位得到应用。鉴定委员会一致同意该成果通过鉴定，同时建议进一步加强该成果的推广应用。通过了技术成果鉴定。鉴定会由中科院上海光机所范滇元院士主持，鉴定委员会听取了项目工作组所作的工作报告、技术报告、查新报告以及鉴定测试报告和资料审查报告。
