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基恩士 VR-6000 3D轮廓测量仪

2024-06-28

3D轮廓测量仪 基恩士 VR-6000

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基恩士 VR-6000系列 3D轮廓测量仪

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一、最快 1 秒对整个面进行高精度 3D 测量

1、基恩士 VR-6000 3D轮廓测量仪以 0.1μm 的分辨率捕捉整个面

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2、最快 1 秒测量

不需要预先安排、事前准备

接触式测量仪在样品设置时为了避免移动,需要用夹具固定,或者找平,或者选择针、探头等,进行各种各样的事前准备。如果使用基恩士 VR-6000 3D轮廓测量仪,只需将样品放在载物台上后点击测量按钮,即可完成测量,十分轻松。

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最快 1 秒扫描

基恩士 VR-6000 3D轮廓测量仪通过测量算法和硬件的改良,实现了最快 1 秒的测量速度。由此实现了样品数的大幅增加,缩短了工作时间,试制品分析和工艺内检查等测量工作的质量和效率也都得到了改善

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2、防止人为偏差的测量

部分接触式测量仪数值会因测量场所、测量条件、测量方法等而出现不稳定的情况。基恩士 VR-6000 3D轮廓测量仪以 0.1 μm 级自动设定测量范围、测量条件,所以防止了人为因素引起的偏差,能够进行正确的测量。

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二、消除死角,增加可测量的形状

1、基恩士 VR-6000 3D轮廓测量仪旋转样品,消除死角进行测量

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2、无需事前设定,“简单”进行旋转拼接

无需校正的电动旋转单元

旋转样品进行形状测量的测量仪需要事前调芯等校正作业。基恩士 VR-6000 3D轮廓测量仪不需要事前校正,所以可以简单地获得样品的旋转拼接数据。

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在不切割的情况下再现截面形状

一边旋转样品一边进行测量,可消除死角,再现真实的截面形状。无需切割,即可简单测量壁厚、凹陷等难以检测的尺寸。

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三、通过扫描能力的进步,增加可测量的材料

1、基恩士 VR-6000 3D轮廓测量仪 通过 HDR 扫描算法,可测量的材料增加

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2、无需事前设定,“简单”进行旋转拼接

非常适合光泽面的 HDR 扫描算法

即使是光学轮廓测量仪不擅长的有光泽的目标物、材料反光弱的目标物,也能瞬间判断理想条件,正确测量形状。基恩士 VR-6000 3D轮廓测量仪与传统机型相比,能够将动态范围最大扩大到 1000 倍进行扫描。

与本公司 VR-5000 产品的比较

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自动扫描设定

适用于目标物的理想亮度和测量模式的选择,甚至是对焦,绝大部分操作均自动进行。实际操作仅仅是单击测量按钮,因此基恩士 VR-6000 3D轮廓测量仪即便是没有测量专业知识的人员也能轻松使用。

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自动测量范围设定

基恩士 VR-6000 3D轮廓测量仪自动识别目标物的宽度和高度,并自动设定理想的测量范围。由于无需像接触式测量仪一样设定测量长度或 Z 范围等,因此也不会发生部分测量遗失的错误。电动载物台自动朝XY 和旋转方向移动,完成测量。

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3、防止人为偏差的测量

部分接触式测量仪数值会因测量场所、测量条件、测量方法等而出现不稳定的情况。基恩士 VR-6000 3D轮廓测量仪以 0.1 μm 级自动设定测量范围、测量条件,所以防止了人为因素引起的偏差,能够进行正确的测量。

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