无源器件的S参数测试相对比较简单,对于双端口无源器件,比如滤波器、衰减器等,可以使用两端口矢网。但是对于多端口无源器件,比如功分器、耦合器、双工器及合路器等,为了保证测试精度,建议使用四端口矢网测试。
对于有源器件的测试,除需要测试小信号S参数,还要测试相应的非线性特性指标,如P1dB,三阶交调点,谐波失真等。因三阶交调测试需要仪表提供一个双音激励信号,对于四端口ZVA40,标配带有两个独立的内部源,因此可以单独完成放大器的三阶交调测试,图24给出了测试连接图及测试结果。对于功率放大器,有时还要测试其正常工作状态下的S参数,如输出端口的热驻波比。图25给出了基于ZVA的热驻波比测试连接示意图,Port3给放大器提供一个激励信号f2,使其正常工作,Port2输出一个不同频率的小信号f1,用于测试放大器输出驻波比,建议f1与f2相差1MHz,那么在接收机侧通过设置合适的IF BW就可以轻松地实现二者的分离,从而完成热驻波比的测试。
功率放大器需要在一定激励功率下才能够正常工作,如果所要求的驱动功率超出了矢网主机端口输出的最大功率,并且要求测试功放的四个S参数,此时就需要使用图26所示的测试装置,外部引入相应的驱动放大器、双定向耦合器、环形隔离器等,为了保护仪表,还需要引入一定的衰减器。
图24.基于ZVA的小信号放大器测试连接示意图
图25.基于ZVA的热驻波比测试连接示意图
图26.基于ZVA的高功率放大器测试连接示意图
对于77GHz的元器件测试,已经超过了ZVA40主机的工作频率范围,需要使用外部变频器模块ZVA-Z90,如图27所示。ZVA-Z90配合ZVA40可以实现非常优异的系统动态范围,在60GHz~90GHz频率范围内,系统动态范围超过115dB,这是准确测试滤波器带外抑制及天线隔离度的有力保障。同时,ZVA-Z90具有极高的端口输出功率,可以达到+10dBm,能够完成大功率测试。ZVA-Z90也同样适用于高增益器件的测试,因为其具有70dB的功率调节范围。ZVA-Z90波导端口的输出功率是通过调整ZVA40主机端口输出功率来调整的,因此可以非常方便地实现波导端口处的功率扫描,以测试毫米波放大器的P1dB。
图27. ZVA借助于ZVA-Z90实现频率至90GHz的矢量网络分析方案
对于将来要涉及的在片测试,罗德与施瓦茨公司也有相应的方案。
器件的在片测试主要应用在器件建模,工艺优化以及毫米波测试方面,主要的测试参数有S参数、噪声系数、相位、功率、P1dB、三阶交调等,对比普通器件测试,在片测试的关键是如何进行电路测试的连接,测试校准的实现,以及如何准确一致的测试全部器件参数。器件的连接主要在于探针台系统和测试夹具的选择,罗德与施瓦茨公司则针对测试校准、参数测量方面提供非常全面及专业的解决方案。
在片测试时,芯片的每次连接都会导致电路参数和测试数据的改变,影响器件建模和工艺优化,以及器件的准确测量。利用R&S矢量网络分析仪ZVA,一次连接即可实现多种参数的在片测量,包括标准S参数、时域测量、变频测量、真差分测量 (混合模式S参数)、噪声系数测量等,对于功率器件,也可以实现脉冲S参数的测量,确保所有电路参数的准确可靠一致。
兼容Cascade探针台,可以实现毫米波太赫兹器件的在片测量。Cascade Wincal软件支持矢量网络分析的校准。由于ZVA-Z90变频器模块采用无风扇的冷却处理,工作过程中无噪声和振动,特别适合探针台及在片测量。
在片矢量网络分析测量系统由R&SZVA40矢量网络分析仪、ZVA-Z90系列毫米波变频模块、NGMO2双通道直流电源以及探针台和探针组成,如28所示,可完成60GHz-90GHz在片矢量网络分析测量。
图28所示接口中,1-4为3.5mm(M-F)同轴电缆,5-6为直流电源电缆,7-8为GPIB或LAN电缆,9-10为波导。
图28. 在片矢量网络分析测量系统框图
图29. 在片矢量网络分析测量
图30. 在片差分器件测试