Accexp晶圆缺口位置的检测解决方案
2015-08-20
Accexp晶圆缺口位置的检测解决方案应用于视觉系统检测晶圆缺口的旋转位置的工作中，Trend Edge Stain工具具有500万像素分辨率的摄像机和内置的算法，可以稳定地检测缺 口，而且还能够输出位置和尺寸数据。使用200万像素摄像机可以检测缺口的位置，但摄像机的可重复性不稳定。通过使用XG系列系统，可以借助500万像素高速摄像机和新的Trend Edge Stain工具稳定地定位缺口。
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